その他分析装置 >
触針式段差計（加工評価室） (Stylus Profilometer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | Veeco社 (株)アルバック (Veeco Instruments Inc. ULVAC, Inc.) |
| 型番 | Dektak150 |
| 設備名称 | 触針式段差計（加工評価室） (Stylus Profilometer) |
| 装置スペック | (株)アルバック社製 Dektak150 垂直分解能(最高) 0.1nm 測定距離 50μm～55mm サンプルステージサイズ 直径 150mm |
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