3次元白色光干渉型顕微鏡
学内学外とも共用
| 設置機関 | 九州大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > その他 |
| 製造元 | Bruker社 |
| 型番 | ContourGT-K |
| 設備名称 | 3次元白色光干渉型顕微鏡 |
| 装置スペック | 最大測定範囲（Z方向）...10ｍｍ（クローズドループ制御） 測定分解能（Z方向）...0.01nm RMS再現性（PSIモード）...0.01nm 横分解能（最高）...0.38um（スパロー定期）, 0.13um（AcuityXR使用時）, 0.01um（NanoLens使用時） 段差正確性...＜0.75% 段差再現性...＜0.1%（1σ） 測定速度...47μｍ/秒（標準型CCD） |
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