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名称 機関 メーカー 共用範囲
MJB-3
両面露光用マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
Suss MicroTec AG
学内学外とも共用
LA410
マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
ナノテック
学内学外とも共用
A1Rsi-N
共焦点レーザ顕微鏡
東海国立大学機構・名古屋大学
Nikon
学内学外とも共用
SM-09010
SEM用断面試料作製装置
東海国立大学機構・名古屋大学
JEOL
学内学外とも共用
VK-9700
デジタルマイクロスコープ
東海国立大学機構・名古屋大学
KEYENCE
学内学外とも共用
VK-9510
デジタルマイクロスコープ
東海国立大学機構・名古屋大学
KEYENCE
学内学外とも共用
Multiplex-ASE
Deep Si Etcher
東海国立大学機構・名古屋大学
住友精密工業
学内学外とも共用
PEM800
両面露光用マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
ユニオン光学
学内学外とも共用
FT/IR-615V
フーリエ変換赤外分光分析
東海国立大学機構・名古屋大学
日本分光
学内学外とも共用
MicroMag 2900BHV-55TRT-2
磁気特性評価システム群
東海国立大学機構・名古屋大学
Lakeshore理研電子東英工業?(LakeshoreRiken DenshiTOEI)
学内学外とも共用
ET200A
段差計 (Surface profiler)
東海国立大学機構・名古屋大学
小坂研究所
学内学外とも共用
BEAMER
電子線描画用データ処理ソフトウェア
東海国立大学機構・名古屋大学
GenISys
学内学外とも共用
JEM-2100Plus
透過型電子顕微鏡(TEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JEM-2100F
電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
PIPS2 Model 695
精密イオンポリシングシステム
名古屋工業大学
産学官金連携機構
Gatan
学内学外とも共用
Model 656
ディンプルグラインダー
名古屋工業大学
産学官金連携機構
Gatan
学内学外とも共用
VES-30T
マルチ成膜装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
真空デバイス
学内のみ
JEM-z2500
透過型電子顕微鏡(3D-TEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
Nano-TA2,VESTA
局所熱分析装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本サーマル・コンサルティング
学内のみ
Leica EM UC7, FC7
ウルトラミクロトーム
名古屋工業大学
産学官金連携機構
ライカマイクロシステムズ
学内学外とも共用
JFD-II(EM-19500)
凍結試料作製装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JEM-1400Plus
透過型電子顕微鏡(TEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JEE-420T
真空蒸着装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内のみ
JIB-4500
集束イオン/電子ビーム 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JEM-2100
透過型電子顕微鏡
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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