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名称 機関 メーカー 共用範囲
JEM-ARM200F
原子分解能分析電子顕微鏡(FE-TEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JIB-4700F
複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JSM-IT200LA
走査電子顕微鏡(W-SEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
IB19520CCP
冷却クロスセクションポリッシャ(CCP)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
DWS3500P
ワイヤーソー
名古屋工業大学
産学官金連携機構
メイワフォーシス
学内学外とも共用
JEC-3000FC
オートファインコーター
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JSM-7001F
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
JXA-8530F
電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
IB09020
断面試料作製装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
CADE/L
カーボンコーター
名古屋工業大学
産学官金連携機構
メイワフォーシス
学内学外とも共用
SC-701MC
白金パラジウムコーター
名古屋工業大学
産学官金連携機構
サンユー電子
学内学外とも共用
-
試料前処理室
名古屋工業大学
産学官金連携機構
-
学内学外とも共用
JSM-7800F
低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
OPC60A
オスミウム・プラズマコーター
名古屋工業大学
産学官金連携機構
フィルジェン
学内学外とも共用
SmartLab
薄膜結晶用X線回折装置(XRD)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
リガク
学内学外とも共用
SmartLabSE
粉末・多結晶用X線回折装置(XRD)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
リガク
学内学外とも共用
SURFCOM 1400G(高倍率)
表面粗さ計
名古屋工業大学
産学官金連携機構
東京精密
学内のみ
SPM-9700
走査型プローブ顕微鏡(SPM)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
島津製作所
学内学外とも共用
JAMP-9500F
電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
PHI Quantes
走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック・ファイ
学内学外とも共用
Dektak150
触針式膜厚計
名古屋工業大学
産学官金連携機構
ULVAC
学内のみ
PHI TRIFTV nanoTOF
飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック・ファイ
学内学外とも共用
JEM-9320FIB
集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本電子
学内学外とも共用
VTR-151M/SRF
マグネトロンスパッタリング装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック
学内のみ
VTR-060M/ERH
真空蒸着装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック
学内のみ
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電話番号:0564-55-7457
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