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名称 機関 メーカー 共用範囲
サムコ製 HT-1000
Rapid Thermal Anneal装置(RTA)
広島大学
サムコ?(Samco Inc.)
学内学外とも共用
370MI- MINI
インプラ後アニール炉
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
370MI- MINI
ウェル拡散炉
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
ポストメタライゼーションアニール(PMA)炉?(Post-metallization annealing furnaces)
広島大学
神港精機?(SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
燐拡散炉?(Phosphorus diffusion furnaces)
広島大学
神港精機?(SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
KTF453N-VP
汎用熱処理装置?(Annealing furnaces for general purpose)
広島大学
光洋サーモシステム?()
学内学外とも共用
(自作)
連続発振レーザアニール装置(レーザ結晶化装置)?(CW OSC Laser annealing (Laser crystallization))
広島大学
(自作)?()
学内学外とも共用
LPCVD装置(poly-Si用)?(Low-pressure chemical vapor deposition (CVD) reactor for poly-Si deposition)
広島大学
東京エレクトロン
学内学外とも共用
LPCVD装置(SiN用)?(Low-pressure CVD reactor for SiN deposition)
広島大学
東京エレクトロン
学内学外とも共用
LPCVD装置(SiO2用)?(Low-pressure CVD reactor for SiO2 deposition)
広島大学
東京エレクトロン
学内学外とも共用
M01
常圧SiO2CVD装置?(Atmospheric pressure CVD reactor for SiO2 deposition)
広島大学
天谷製作所?(Amaya Co., Ltd.)
学内学外とも共用
CPD-1108S
プラズマCVD(PECVD)装置?(Plasma-enhanced CVD reactor)
広島大学
アルパック?(ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
ICP - CVD装置?(ICP - CVD reactor)
広島大学
アユミ工業
学内学外とも共用
CCP - CVD装置?(CCP - CVD reactor)
広島大学
アユミ工業
学内学外とも共用
リモートPECVD装置?(Remote Plasma-enhanced CVD reactor)
広島大学
アユミ工業
学内学外とも共用
スパッタ装置(Al用)?(Sputtering system for Al, Ti, and TiN deposition)
広島大学
株式会社エイコー?(EIKO CORPORATION)
学内学外とも共用
スパッタ装置(汎用)?(Sputtering system for general purpose)
広島大学
株式会社エイコー?(EIKO CORPORATION)
学内学外とも共用
スパッタ装置(Cu用)?(Sputtering system for Cu deposition)
広島大学
株式会社エイコー?(EIKO CORPORATION)
学内学外とも共用
多元スパッタ装置?(Multi-target Sputtering system)
広島大学
アネルバ?(Anelva)
学内学外とも共用
真空蒸着装置?(Vacuum evaporation system)
広島大学
アルパック?(ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
-
エッチング装置(RIE SiO2用)?(Reactive ion etching system for SiO2)
広島大学
神戸製鋼
学内学外とも共用
-
汎用プラズマ処理装置?(Reactive ion etching system for general purpose)
広島大学
神戸製鋼
学内学外とも共用
MUC-21
エッチング装置(Si深掘用)?(Si deep etching system)
広島大学
住友精密工業?(Sumitomo Precision Products CO.,LTD.)
学内学外とも共用
12-228PH
エッチング装置(ICP Al用)?(Inductively coupled plasma etcher for Al)
広島大学
株式会社ユーテック?(YOUTECUniversal Technics Co.,Ltd )
学内学外とも共用
-
エッチング装置(CDE SiN用)?(Chemical dry etching system for Si3N4)
広島大学
神戸製鋼
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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