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名称 機関 メーカー 共用範囲
ELS-F125HS
超高精細高精度電子ビーム描画装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
エリオニクス
学内学外とも共用
DWL200 LD3D
レーザー直接描画装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH社
学内学外とも共用
D-light DL-10000GS/KCH
マスクレス露光装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ナノシステムソリューションズ
学内学外とも共用
NSR-2205i11D
露光装置(ステッパー)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ニコン
学内学外とも共用
EB1100 スパッタ装置
多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
キヤノンアネルバ
学内学外とも共用
EB1100 スパッタ装置(仕様B)
多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
キヤノンアネルバ
学内学外とも共用
MPX-CVD
プラズマCVD装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
住友精密工業
学内学外とも共用
SU8000
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
日立
学内学外とも共用
EIS-1200
電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
エリオニクス
学内学外とも共用
NLD-570
磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
アルバック
学内学外とも共用
SUSS SB8e SPEC-KU
基板接合装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
SU6600
分析走査電子顕微鏡
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
日立ハイテクノロジーズ
学内学外とも共用
LAEX-1000
レーザアニーリング装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
AOV
学内学外とも共用
RIE-801iPB-KU
深堀りドライエッチング装置 (1)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
サムコ
学内学外とも共用
MLT-SLE-Ox
シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム (1)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
住友精密工業
学内学外とも共用
Xetch X3B
シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム (2)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
米国 XACTIX社
学内学外とも共用
Nvision40
集束イオンビーム/走査電子顕微鏡
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
エスアイアイ・ナノテクノロジー
学内学外とも共用
ML200
レーザダイシング装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
東京精密
学内学外とも共用
OSC-385FCS
クリーンルーム
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
大西熱学
学内学外とも共用
OSC-365NF
クリーンルーム
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
大西熱学
学内学外とも共用
F7000S-KYT01
大面積超高精度電子線描画装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
アドバンテスト
学内学外とも共用
なし
[S-1]クリーンルーム
京都大学
理学研究科・理学部
京栄社
学内学外とも共用
-
スーパーコンピュータシステム
京都大学
学術情報メディアセンター
DELL
学内学外とも共用
FACSAria II
BD セルソーター Aria II SORP
京都大学
高等研究院
ベクトン・ディッキンソン
学内学外とも共用
TCS SP8 gated STED
STED超解像顕微鏡
京都大学
高等研究院
ライカマイクロシステムズ
学内学外とも共用
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自然科学研究機構 分子科学研究所 機器センター
電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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