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名称 機関 メーカー 共用範囲
PI-480
DNA自動分離装置
北海道大学
先端生命科学研究院
クラボウ
学内学外とも共用
SH800S
セルソーター
北海道大学
先端生命科学研究院
ソニー
学内学外とも共用
TSP-1000M-01S-H-HP-M
時間分解分光測定装置
北海道大学
先端生命科学研究院
ユニソク
学内学外とも共用
XP2U
ウルトラミクロ天秤
北海道大学
創成研究機構機器分析受託部門
メトラー・トレド
学内学外とも共用
DigiPREP Jr.、XP205 ほか
無機分析前処理システム
北海道大学
創成研究機構機器分析受託部門
ジーエルサイエンス、メトラー・トレド ほか
学内学外とも共用
ELS-F125-U
超高精度電子ビーム描画装置 125kV
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS-7000HM
超高精度電子ビーム描画装置 100 kV
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
MA-20
マスクアライナ
北海道大学
電子科学研究所
ミカサ
学内学外とも共用
DDB-201-200
レーザー描画装置
北海道大学
電子科学研究所
ネオアーク
学内学外とも共用
ED-1500R
真空蒸着装置
北海道大学
電子科学研究所
サンバック
学内学外とも共用
PD-220ESN
プラズマCVD装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
PD-10C1
液体ソースプラズマCVD装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
MPS-4000C1/HC1
ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
IBS-6000S
イオンビームスパッタ装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
SUNALE-R
原子層堆積装置(ALD)
北海道大学
電子科学研究所
Picosun
学内学外とも共用
RIE-101iPH
反応性イオンエッチング装置 RIE-101iPH
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
RIE-10NRV
反応性イオンエッチング装置 RIE-10NRV
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
NLD-500
ドライエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
IBE-6000S
イオンミリング装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
JSM-6700FT
電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学
電子科学研究所
日本電子
学内学外とも共用
ELS-3700
電子ビーム描画装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS-7300(ERA-8000FE)
電子線描画装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
MA-6
両面マスクアライナ
北海道大学
情報科学研究院
ズースマイクロテック
学内学外とも共用
EIS-200ER
ECR加工装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
EIS-700S
ICP加工装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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