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名称 機関 メーカー 共用範囲
Av028
超高真空5源ヘリコンスパッタ
北海道大学
情報科学研究院
菅製作所
学内学外とも共用
Savannah 100
ALD製膜装置
北海道大学
情報科学研究院
Cambride NanoTech
学内学外とも共用
SPF-210H
スパッタ装置
北海道大学
情報科学研究院
キヤノンアネルバ
学内学外とも共用
EBX-8C
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学
情報科学研究院
アルバック
学内学外とも共用
AV096-000
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学
情報科学研究院
菅製作所
学内学外とも共用
EIP-3300
FIB加工装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
JSM-6500F
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
北海道大学
工学部(ナノ・マイクロマテリアル分析研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JAFM4500LT
超高真空・極低温・高磁場SPM(LT-UHV-SPM)
北海道大学
情報科学研究院
日本電子
学内学外とも共用
JEM-ARM1300
超高圧電子顕微鏡群
北海道大学
工学部(超高圧電子顕微鏡研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JEM-2010F
電界放射型電子顕微鏡(200kV FEG-TEM)
北海道大学
工学部(超高圧電子顕微鏡研究室)
日本電子
学内学外とも共用
HD-2000
超薄膜評価装置
北海道大学
電子科学研究所
日立
学内学外とも共用
FB-2100
集束イオンビーム加工観察装置
北海道大学
電子科学研究所
日立
学内学外とも共用
JEM2010
透過電子顕微鏡(TEM)
北海道大学
工学部(ナノ・マイクロマテリアル分析研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JXA-8530F
フィールドエミッション電子プローブ マイクロアナライザ(FE-EPMA)
北海道大学
工学部(ナノ・マイクロマテリアル分析研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JIB―4601F
複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
北海道大学
工学部(ナノ・マイクロマテリアル分析研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JED-2300(EDS)/IB-Z10053T3DEBS(EBSD)
複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)EDS・EBSDオプション
北海道大学
工学部(ナノ・マイクロマテリアル分析研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JAMP-9500F
オージェ電子分光装置
北海道大学
工学部(光電子分光分析研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JPS-9200
X線光電子分光装置 JPS-9200
北海道大学
工学部(光電子分光分析研究室)
日本電子
学内学外とも共用
-
スピンSEM
北海道大学
情報科学研究院
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
STM/AFM,VT-STM
超高真空STM・スピン偏極STM装置
北海道大学
情報科学研究院
オミクロン
学内学外とも共用
PEEM-?
時間分解光電子顕微鏡システム
北海道大学
電子科学研究所
エルミテック
学内学外とも共用
Easy tube system
ナノカーボン成長炉
北海道大学
情報科学研究院
Nano Device社
学内学外とも共用
M-500S
エリプソメーター
北海道大学
情報科学研究院
日本分光社
学内学外とも共用
ELS-F130HM
超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置 130kV
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
PAC-LMBE
半導体薄膜堆積装置(PLD)
北海道大学
電子科学研究所
パスカル
学内学外とも共用
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