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名称 機関 メーカー 共用範囲
Titan3 G2 60-300
高分解能3次元構造評価装置
北海道大学
工学部(超高圧電子顕微鏡研究室Titan)
日本FEI
学内学外とも共用
JEM-ARM200F
収差補正走査型透過電子顕微鏡
北海道大学
電子科学研究所
日本電子
学内学外とも共用
ERA-8000FE
電子線三次元粗さ解析装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
NanoNavi Station SPA300
走査型プローブ顕微鏡
北海道大学
情報科学研究院
エスアイアイ・ナノテクノロジー製
学内学外とも共用
JAFM-4500XT
超高真空AFM
北海道大学
情報科学研究院
日本電子
学内学外とも共用
ACS-4000-C3-HS
コンパクトスパッタ装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
RIE-101iHS
ICP高密度プラズマエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
SSP3000Plus
スパッタ装置
北海道大学
情報科学研究院
菅製作所
学内学外とも共用
DAD322
ダイシングソー
北海道大学
情報科学研究院
DISCO
学内学外とも共用
AC-3
大気中光電子分光装置
北海道大学
電子科学研究所
理研計器
学内学外とも共用
SU8230
超高分解能走査型電子顕微鏡
北海道大学
電子科学研究所
日立ハイテクノロジーズ
学内学外とも共用
QAM-4-ST
多元スパッタ装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
APX-ASE-Pegasus-Polestar
シリコン深堀りエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
SPPテクノロジーズ
学内学外とも共用
EB-580S
電子ビーム蒸着装置
北海道大学
電子科学研究所
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
VK-9700/9710
レーザー顕微鏡
北海道大学
電子科学研究所
キーエンス
学内学外とも共用
UV-1
UV-オゾンクリーナー
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
F20-UV
光学干渉式膜厚計
北海道大学
電子科学研究所
フィルメトリクス
学内学外とも共用
R-200 advanced
原子層堆積装置(粉末対応型)
北海道大学
電子科学研究所
ピコサン
学内学外とも共用
PIPSII model 695
精密イオンミリングシステム
北海道大学
電子科学研究所
Gatan
学内学外とも共用
DWL66HK
レーザー描画装置
北海道大学
電子科学研究所
ハイデルベルグ・インストルメンツ
学内学外とも共用
JEM-9320FIB
集束イオンビーム加工観察装置
北海道大学
工学部(超高圧電子顕微鏡研究室)
日本電子
学内学外とも共用
JPS-9200
X線光電子分光装置
北海道大学
電子科学研究所
日本電子
学内学外とも共用
AD-230LP-H
プラズマ式原子層堆積装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
MILA-5000-P-N
卓上型ランプ加熱装置
北海道大学
電子科学研究所
アドバンス理工
学内学外とも共用
JEM-ARM200F NEOARM
量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置
北海道大学
工学部(超高圧電子顕微鏡研究室)
日本電子
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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