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名称 機関 メーカー 共用範囲
3400UD
ECRスパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アフティ
学内のみ
SP561-AL
原子層堆積(ALD)装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
スプリード
学内学外とも共用
SPQ-203T
超高真空スパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック九州
学内のみ
SPQ-303T
マグネトロンスパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック九州
学内のみ
L-100-HF
三源マグネトロンスパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アネルバ
学内のみ
RHQ-06TP
Al蒸着装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック九州
学内のみ
UL-400EB
電子ビーム蒸着装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アネルバ
学内のみ
KTF-773N
酸化/アニール炉
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
光洋サーモシステム
学内のみ
-
ウェット酸化/拡散炉
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
光洋サーモシステム
学内のみ
KTF433NKN
高温処理炉
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
光洋サーモシステム
学内のみ
M-2LF
マスクアライナー
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ミカサ
学内のみ
MA-1200A
マスクアライナー
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
大日本印刷
学内のみ
NE-701
反応性イオンエッチング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック
学内のみ
MARY-102
エリプソメーター
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ファイブラボ
学内のみ
ECLIPSE ME600L
光学顕微鏡
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ニコン
学内のみ
PR200
小型プラズマ装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ヤマト科学
学内のみ
JEM-2100F
汎用電子顕微鏡
九州大学
超顕微解析研究センター
日本電子
学内学外とも共用
500MHz
固体核磁気共鳴測定装置
九州大学
理学研究院 化学部門
ブルカー
学内のみ
EnSight
EnSightマルチモードプレートリーダー
九州大学
薬学研究院
レビティ
学内学外とも共用
CosmoScan FX
実験動物用CT装置 CosmoScan FX
九州大学
生体防御医学研究所 先端研究開発室
リガク
学内のみ
2002-DTELCRTR-JE-23-KU
雰囲気遮断加熱・冷却試料ホルダー
九州大学
メルビル
学内学外とも共用
Spectra-Physics
表面・界面分子振動解析装置 (Surface・interface molucular vibration analysis system)
九州大学
東京インスツルメンツ (Tokyo Instruments )
学内学外とも共用
-
分子構造解析システム
九州大学
-
学内学外とも共用
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自然科学研究機構 分子科学研究所 機器センター
電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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