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名称 機関 メーカー 共用範囲
EXCEED2300AH
中電流イオン注入装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日新イオン機器
学内学外とも共用
BEOL炉(α-8SE)
低温拡散炉、水素処理炉
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
RLSA 2B
プラズマ酸化・窒化
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
Formula
LPCVD装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
LT-PECVD
マイクロ波プラズマCVD装置(SiN)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
PYROX-216E
常圧CVD装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
TEMPRESS
学内学外とも共用
-
マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
JEM-2100F
透過型電子顕微鏡(FE-TEM)
東北大学
工学研究科(本部)
日本電子
学内学外とも共用
JSM-7100F
走査型電子顕微鏡・結晶方位解析(FE-SEM/EBSD)
東北大学
工学研究科(本部)
日本電子
学内学外とも共用
金属薄膜用洗浄装置
特殊型室温枚葉洗浄装置A
東北大学
未来科学技術共同研究センター
リアライズ ・アドバンストテクノロジ
学内学外とも共用
CABL-9520CE
電子ビーム露光装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
クレステック
学内学外とも共用
RLA-1208-V
RTA装置B
東北大学
未来科学技術共同研究センター
光洋サーモシステム
学内学外とも共用
VD-8-300S
高温熱処理装置(1200℃)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
V&Hテクノロジーズ
学内学外とも共用
IZU-2500H
クラスタスパッタ装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
和泉テック
学内学外とも共用
-
オールメタル装置(プラズマ平坦化)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
和泉テック
学内学外とも共用
WM2500
パーティクル検査装置A
東北大学
未来科学技術共同研究センター
トプコン
学内学外とも共用
ARK-LIPS
低温プローバ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ナガセ電子機器(ナガセテクノエンジニアリング)
学内学外とも共用
WXS-90S-L2
ソーラシミュレータ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ワコム電創
学内学外とも共用
JSM-6700F
FE-SEM
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日本電子
学内学外とも共用
MX50
顕微鏡
東北大学
未来科学技術共同研究センター
オリンパス
学内学外とも共用
VR-120S
抵抗率測定器
東北大学
未来科学技術共同研究センター
国際電気アルファ(日立国際電気)
学内学外とも共用
S300M-973
300mm高周波対応マニュアルプローバ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ベクターセミコン
学内学外とも共用
SQ-S11861B
マニュアルプローバ cascade 8inch,1/fノイズ計測システム付
東北大学
未来科学技術共同研究センター
Cascade Microtech
学内学外とも共用
MH4000
薄膜密度計
東北大学
未来科学技術共同研究センター
NEC三栄
学内学外とも共用
-
n&k測定装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
n&k Technology
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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