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名称 機関 メーカー 共用範囲
E3-H
酸・有機兼用ドラフトチャンバー
東京科学大学
科学技術創成研究院
ダルトン
学内学外とも共用
611DI
超純水
東京科学大学
科学技術創成研究院
ザルトリウス
学内学外とも共用
ERA-8900FE
電子顕微鏡
東京科学大学
科学技術創成研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
-
クリーンブース(クリーンルーム本体)
東京科学大学
科学技術創成研究院
ダイキンプラント
学内学外とも共用
FE5000
エリプソメトリー
東京科学大学
科学技術創成研究院
大塚電子
学内学外とも共用
BCT-21MDC
極低温プローバ
東京科学大学
科学技術創成研究院
長瀬産業
学内学外とも共用
B1500A
高速電流測定システム 1式
東京科学大学
科学技術創成研究院
アジレント・テクノロジー
学内学外とも共用
E-FLA100
積層薄膜作成クラスター装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
エイコー
学内学外とも共用
ES-3500
5連スパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
エイコー
学内学外とも共用
RIE-101iPH
反応性イオンエッチング2(Cl系)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
S-4800
FE走査電子顕微鏡
東京科学大学
科学技術創成研究院
日立ハイテクノロジーズ
学内学外とも共用
RTP-6
高速熱処理炉(RTA)3号機
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック理工
学内学外とも共用
VPC-410
蒸着装置(ベルジャ)
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック イー・エス
学内学外とも共用
SG-S11861-01-RFS,他(Others)
プローバー(1~3号機)
東京科学大学
科学技術創成研究院
カスケードマイクロテック
学内学外とも共用
-
多自由度大変位実験システム
東京科学大学
科学技術創成研究院
オックスジャッキ
学内学外とも共用
-
温度可変型高剛性材料試験機
東京科学大学
科学技術創成研究院
島津製作所
学内学外とも共用
-
油圧式万能試験機
東京科学大学
科学技術創成研究院
島津製作所
学内学外とも共用
-
衝撃的高速度破壊実験装置 一式
東京科学大学
科学技術創成研究院
島津製作所
学内学外とも共用
-
静的サーボコントローラシステム
東京科学大学
科学技術創成研究院
オックスジャッキ
学内学外とも共用
JSM-5310
電子ビーム露光装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
日本電子
学内学外とも共用
JSM-6301F
電解放射型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)
東京科学大学
科学技術創成研究院
日本電子
学内学外とも共用
DDB-201-NHT
レーザ描画装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
ネオアーク
学内学外とも共用
RIE-101L
反応性イオンエッチング装置(RIE)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
PD-10D
減圧化学気相蒸着装置(CVD)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
SVC-700RF?
スパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
サンユー電子
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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