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名称 機関 メーカー 共用範囲
BX60
光学顕微鏡
東京科学大学
科学技術創成研究院
オリンパス
学内学外とも共用
TW-10RM
純水製造装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
野村マイクロサイエンス
学内学外とも共用
MUC-21
プラズマエッチング装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
SPPテクノロジーズ
学内学外とも共用
N2MC3-101?
窒素ガス発生装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
フクハラ
学内学外とも共用
FHS-150SA
ドラフトチャンバー
東京科学大学
科学技術創成研究院
ヤマト科学
学内学外とも共用
QHC-E410
赤外線ランプアニール装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック
学内学外とも共用
-
クリーンブース
東京科学大学
科学技術創成研究院
小糸工業
学内学外とも共用
-
超純水製造装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
オルガノ
学内学外とも共用
ECS-1-1800×2 / EC-3-1800×2
ドラフトチャンバー
東京科学大学
科学技術創成研究院
小糸工業
学内学外とも共用
PCV-1305BN
クリーンベンチ
東京科学大学
科学技術創成研究院
コトウ科学
学内学外とも共用
TKS-12060
熱酸化炉
東京科学大学
科学技術創成研究院
山田電機
学内学外とも共用
922-9203
E型電子銃
東京科学大学
科学技術創成研究院
キャノン・アネルバ
学内学外とも共用
ADM8DMK?
シリコンウェハ加工システム
東京科学大学
科学技術創成研究院
岡本工作機械
学内学外とも共用
AFTEX3400
電子加速共鳴装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
JSWアフティ
学内学外とも共用
55647
チューブ炉
東京科学大学
科学技術創成研究院
光洋リンドバーグ
学内学外とも共用
MJB3
マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
JSM-5600
電子顕微鏡/電子線描画装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
日本電子/東京テクノロジー
学内学外とも共用
Alpha-Step 500
表面形状測定装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
ヤマト科学
学内学外とも共用
E-100J
高真空研究用蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
エイエルエステクノロジー
学内学外とも共用
E-200S
超微細・低電力ナノデバイス加工システム
東京科学大学
科学技術創成研究院
キャノン・アネルバ
学内学外とも共用
OPTIPHOT-2
実体顕微鏡システム
東京科学大学
科学技術創成研究院
オリンパス
学内学外とも共用
K-359SD-1
スピンコーター
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
VT-43N
電子ビーム蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
キャノン・アネルバ
学内学外とも共用
MJB-3
マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
VE-7800
走査型電子顕微鏡
東京科学大学
科学技術創成研究院
キーエンス
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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