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名称 機関 メーカー 共用範囲
MILA-3000
高速熱処理炉RTA-1
東京科学大学
科学技術創成研究院
アドバンス理工
学内学外とも共用
K-359S1
スピナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
TCP121
金属蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
北野精機
学内学外とも共用
RHL-P610CP
赤外線ランプアニール装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
三友商工
学内学外とも共用
MILA-3000
ウェハ加熱装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック
学内学外とも共用
RTA-2000
赤外線ランプアニール装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
三友商工
学内学外とも共用
MSP-20-TK
マグネトロンスパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
真空デバイス
学内学外とも共用
-
超純水製造装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
オルガノ
学内学外とも共用
SUSS MJB4 SPEC-TITS/01
マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
K359S1
スピナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
TP-306 H2001
酸化炉(Si,GaN,SiC)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
UV-1
オゾンクリーナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
DVCYV2
ドラフト(2台 酸用・有機用)
東京科学大学
科学技術創成研究院
日立ハイテクノロジーズ
学内学外とも共用
FT/IR-4200ST
赤外吸収分光(FTIR)装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
日本分光
学内学外とも共用
QHC-P610C
高速熱処理炉(RTA)1号機
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック理工
学内学外とも共用
特注仕様 (Custom)
クリーンブース1
東京科学大学
科学技術創成研究院
日立ハイテクノロジーズ
学内学外とも共用
701-5C
BIN電源
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
応用光研工業
学内のみ
GC2018-7600SL
ゲルマニウム半導体検出器
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
キャンベラ
学内のみ
701-7
BIN電源
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
応用光研工業
学内のみ
88/DM+ソケット(Socket)
NaI(Tl)検出器
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
応用光研工業
学内のみ
C-RP 202B
アウトプットレジスタ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
テクノランドコーポレーション
学内のみ
ADC500
アナログデジタルコンバータ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
Laboratory Equipment
学内のみ
CC NET
クレートコントローラ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
東陽テクニカ
学内のみ
N-TM 307
ゲートアンドディレイジェネレータ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
テクノランドコーポレーション
学内のみ
N-TM 103
コインシデンス
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
テクノランドコーポレーション
学内のみ
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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