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名称 機関 メーカー 共用範囲
JSM-7001F
分析装置付き走査型電子顕微鏡
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
日本電子
学内学外とも共用
S-4500
走査型電子顕微鏡
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
日立製作所
学内学外とも共用
S5200
走査型電子顕微鏡
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
日立製作所
学内学外とも共用
-
ウェハプローバ
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
東京エレクトロン
学内学外とも共用
CM300
ウェハプローバ
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
Formfactor
学内学外とも共用
PN4400
C-Vプロファイラ
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
バイオ・ラッド ラボラトリーズ
学内学外とも共用
-
フォトルミネッセンス測定装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
堀場製作所
学内学外とも共用
EVG301
ウェハ洗浄装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
EVG
学内学外とも共用
Hivox3001
酸化装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
エピクエスト
学内学外とも共用
-
薄膜評価用試料水平型X線回折装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
リガク
学内学外とも共用
-
プラズマCVD装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
住友精密工業
学内学外とも共用
VE-07-18?
表面活性化接合装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
アユミ工業
学内学外とも共用
KS-702KAM
マグネトロンスパッタリング装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
ケーサイエンス
学内学外とも共用
KS-702-KM
スパッタ成膜装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
ケーサイエンス
学内学外とも共用
EV-100ES
高真空蒸着装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
特注品
高真空蒸着装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
RIE-400iP
ICP-RIE
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
VHX-1000
デジタル顕微鏡
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
キーエンス
学内学外とも共用
HR-3246
有機金属気相成長装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
日本酸素
学内学外とも共用
RIE-10NR
リアクテブイオンエッチング装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
RIE-101B
リアクテブイオンエッチング装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
PD-240 1
プラズマCVD装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
PD-100ST
プラズマCVD装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
P-7
触針式段差計
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
ケーエルエー・テンコール
学内学外とも共用
OC12-3021
基板貼付け装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
アユミ工業
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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