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名称 機関 メーカー 共用範囲
EVC-1501
電子ビーム蒸着装置 (EB evaporation)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
特注
めっき装置 (Electroplating)
東北大学
山本鍍金試験器 (Yamamoto)
学内学外とも共用
ALK-600
多元材料原子層堆積(ALD)装置 (ALD)
東北大学
テクノファイン (Technofine)
学内学外とも共用
PZ-604
ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition)
東北大学
テクノファイン (Technofine)
学内学外とも共用
Doctor-T'
MOCVD (MOCVD)
東北大学
ワコム研究所 (Wacom)
学内学外とも共用
RAS-1100BII
シンクロン スパッタ装置 (Shincron sputtering)
東北大学
シンクロン (Shincron)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
DeepRIE装置#2 (DeepRIE #2)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
Multiplex-ICP SR
DeepRIE装置#3 (DeepRIE #3)
東北大学
STS (STS)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-HR
DeepRIE装置#4 (DeepRIE #4)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
NE-550
アルバックICP-RIE#1 (Ulvac ICP-RIE#1)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
CE-300I
アルバックICP-RIE#2 (Ulvac ICP-RIE#2)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
RIH-1515Z
アルバック多用途RIE装置 (Ulvac RIE)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
DEA-506
アネルバRIE装置 (Anelva RIE)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
L-507DL
アネルバSi RIE装置 (Anelva Si RIE)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
HIRRIE-100
Al-RIE装置 (Al-RIE)
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura Mechatronics)
学内学外とも共用
PDC210
プラズマクリーナー (Plasma cleaner)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
UNA-2000
アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
IPC4000
ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)
東北大学
ブランソン (Branson)
学内学外とも共用
CDE7
ケミカルドライエッチャー(CDE) (Chemical Dry Etcher (CDE))
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura Mechatronics)
学内学外とも共用
20IBE-C
イオンミリング装置 (Ion milling)
東北大学
エヌ・エス/伯東 (NS/Hakuto)
学内学外とも共用
Primaxx uEtch
Vapor HFエッチング装置 (Vapor HF etching)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
-
KOHエッチング槽 (KOH etching)
東北大学
-
学内学外とも共用
-
TMAHエッチング槽 (TMAH etching)
東北大学
-
学内学外とも共用
SB6e
SUSS ウェハ接合装置 (Wafer bonder)
東北大学
SUSS (SUSS)
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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