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名称 機関 メーカー 共用範囲
単路回流型風洞
低乱熱伝達風洞
東北大学
流体科学研究所
荏原製作所
学内学外とも共用
FT/IR 6300、IRT7000
赤外顕微イメージングシステム
東北大学
工学研究科(本部)
日本分光
学内学外とも共用
M4 TORNADO+ S26
微小部蛍光X線分析装置
東北大学
工学研究科(本部)
Bruker
学内学外とも共用
-
小型低騒音風洞
東北大学
流体科学研究所
三菱重工業
学内学外とも共用
X'Pert3 MRD
X線回折分析装置(XRD)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
パナリティカル
学内学外とも共用
EA1000A III
蛍光X線分析装置(XRF)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立ハイテクサイエンス
学内学外とも共用
DektakXT
段差計
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ブルカーナノ
学内学外とも共用
単路回流型
小型低乱風洞
東北大学
流体科学研究所
荏原製作所
学内学外とも共用
SE2000
分光エリプソメトリ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
セミラボ
学内学外とも共用
最高ビームエネルギー:陽子・中性子70MeV及び重イオンビーム
高速イオン・中性子ビーム照射装置(サポートあり)
東北大学
サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター
-
学内学外とも共用
最高ビームエネルギー:陽子・中性子70MeV及び重イオンビーム
高速イオン・中性子ビーム照射装置(サポートなし)
東北大学
サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター
-
学内学外とも共用
CYPRIS-HM12
粒子加速装置(医用小型サイクロトロン)
東北大学
サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター
住友重機械工業
学内学外とも共用
1段式ガス銃、一段式火薬銃、二段式軽ガス銃
弾道飛行装置
東北大学
流体科学研究所
ノビテック
学内学外とも共用
ClairvivoPET・CT
小動物用PET・CT装置
東北大学
サイクロトロン・ラジオアイソトープセンター
島津製作所
学内学外とも共用
JBX-9300SA,100keV電子ビーム
電子線描画装置
東北大学
電気通信研究所
日本電子,スポットビーム
学内学外とも共用
N-Vision40トリプルビーム方式
FIB/SEM
東北大学
電気通信研究所
Carl Zeiss Microscopy
学内学外とも共用
SELFRAG Lab S2.0
高電圧パルス選択性粉砕装置
東北大学
多元物質科学研究所
SELFRAG AG
学内学外とも共用
HNCD-4-SL #1
ウェットベンチ(無機用・高清浄)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
HNCD-4-SL #2
ウェットベンチ(無機用・汎用)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
HNCD-4-SL #3
ウェットベンチ(無機用・メタル専用)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
HNCD
ウェットベンチ(有機用・リソグラフィ)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
200SP
特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
エス・イー・エス
学内学外とも共用
FPA3000-EX3
KrFステッパ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
キヤノン
学内学外とも共用
Mark8
コータデベロッパ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
EMA-400
アライナー
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ユニオン光学
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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