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名称 機関 メーカー 共用範囲
MA-20
マスクアライナー
北海道大学
電子科学研究所
ミカサ
学内学外とも共用
ED-1500R
真空蒸着装置
北海道大学
電子科学研究所
サンバック
学内学外とも共用
RIE-10NRV
反応性イオンエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
RIE-101iHS
ICP高密度プラズマエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
PD-220ESN
プラズマCVD装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
PD-10C1
液体ソースプラズマCVD装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
MPS-4000C1/HC1
ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
ELS-F125-U
超高精度電子ビーム描画装置
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
フォトクリエーター PC-01-H
真空紫外光露光装置
北海道大学
電子科学研究所
エヌ工房
学内学外とも共用
32P
分子線エピタキシー装置
北海道大学
工学部
Riber
学内学外とも共用
ELS-7000HM
超高精度電子ビーム描画装置
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
NLD-500
ドライエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
RIE-101iPH
反応性イオンエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
DDB-201-200
レーザー描画装置
北海道大学
電子科学研究所
ネオアーク
学内学外とも共用
SUNALE-R
原子層堆積装置
北海道大学
電子科学研究所
Picosun
学内学外とも共用
IBS-6000S
イオンビームスパッタ装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
ACS-4000-C3-HS
コンパクトスパッタ装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
ELS-F130HM
超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
PAC-LMBE
半導体薄膜堆積装置
北海道大学
電子科学研究所
パスカル
学内学外とも共用
QAM-4-ST
多元スパッタ装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
APX-ASE-Pegasus-Polestar
シリコン深堀りエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
SPPテクノロジーズ
学内学外とも共用
EB-580S
電子ビーム蒸着装置
北海道大学
電子科学研究所
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
UV-1
UV-オゾンクリーナー
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
R-200 advanced
原子層堆積装置(粉末対応型)
北海道大学
電子科学研究所
ピコサン
学内学外とも共用
PM5/4156C
電気的特性評価装置
北海道大学
量子集積エレクトロニクス研究センター
ズースマイクロテック、アジレント
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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