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名称 機関 メーカー 共用範囲
PD-200ST 1252
プラズマCVD
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
RIE-10NL
ドライエッチング装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
KMDS-01
多目的蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
北野精機
MA6
マスクアライナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
カール・ズース・ジャパン
学内学外とも共用
μPG101-NWM
レーザー露光装置 一式
東京科学大学
科学技術創成研究院
ハイデルベルク・インストルメンツ
SRL2121
SiO2スパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
神港精機
学内学外とも共用
-
金属蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
小林理化器械
学内学外とも共用
VPC-1100T
真空蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック機工
学内学外とも共用
E3-H
酸・有機兼用ドラフトチャンバー
東京科学大学
科学技術創成研究院
ダルトン
学内学外とも共用
611DI
超純水
東京科学大学
科学技術創成研究院
ザルトリウス
学内学外とも共用
BCT-21MDC
極低温プローバ
東京科学大学
科学技術創成研究院
長瀬産業
学内学外とも共用
E-FLA100
積層薄膜作成クラスター装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
エイコー
学内学外とも共用
ES-3500
5連スパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
エイコー
学内学外とも共用
RIE-101iPH
反応性イオンエッチング2(Cl系)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
RTP-6
高速熱処理炉(RTA)3号機
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック理工
学内学外とも共用
VPC-410
蒸着装置(ベルジャ)
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック イー・エス
学内学外とも共用
SG-S11861-01-RFS,他(Others)
プローバー(1~3号機)
東京科学大学
科学技術創成研究院
カスケードマイクロテック
学内学外とも共用
JSM-5310
電子ビーム露光装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
日本電子
学内学外とも共用
DDB-201-NHT
レーザ描画装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
ネオアーク
学内学外とも共用
RIE-101L
反応性イオンエッチング装置(RIE)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
PD-10D
減圧化学気相蒸着装置(CVD)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
SVC-700RF?
スパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
サンユー電子
学内学外とも共用
L-250S-FH
スパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アネルバ
学内学外とも共用
DAD-321
ダイシングソー
東京科学大学
科学技術創成研究院
ディスコ
学内学外とも共用
MA-10
マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ミカサ
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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