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名称 機関 メーカー 共用範囲
K-310P-100S
マスクアライナ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
EBH-6S
EB蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック
学内学外とも共用
EIS-200ERTH
ECRイオンシャワー
東京科学大学
科学技術創成研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
ADC120706
低温プローバー
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
アールデック
学内学外とも共用
NRS-810
次世代太陽電池レーザー加工装置
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
NTN
学内学外とも共用
VPC-1100
真空蒸着装置
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
アルバック イーエス
学内のみ
IVF-1000W
赤外線真空加熱炉
東京科学大学
科学技術創成研究院
サーモ理工
学内学外とも共用
VF-7510
光学式形状測定機
東京科学大学
科学技術創成研究院
キーエンス
学内学外とも共用
MUC-21
プラズマエッチング装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
SPPテクノロジーズ
学内学外とも共用
N2MC3-101?
窒素ガス発生装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
フクハラ
学内学外とも共用
QHC-E410
赤外線ランプアニール装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック
学内学外とも共用
TKS-12060
熱酸化炉
東京科学大学
科学技術創成研究院
山田電機
学内学外とも共用
922-9203
E型電子銃
東京科学大学
科学技術創成研究院
キャノン・アネルバ
学内学外とも共用
ADM8DMK?
シリコンウェハ加工システム
東京科学大学
科学技術創成研究院
岡本工作機械
学内学外とも共用
AFTEX3400
電子加速共鳴装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
JSWアフティ
学内学外とも共用
55647
チューブ炉
東京科学大学
科学技術創成研究院
光洋リンドバーグ
学内学外とも共用
MJB3
マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
E-100J
高真空研究用蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
エイエルエステクノロジー
学内学外とも共用
E-200S
超微細・低電力ナノデバイス加工システム
東京科学大学
科学技術創成研究院
キャノン・アネルバ
学内学外とも共用
K-359SD-1
スピンコーター
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
VT-43N
電子ビーム蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
キャノン・アネルバ
学内学外とも共用
MJB-3
マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
MILA-3000
高速熱処理炉RTA-1
東京科学大学
科学技術創成研究院
アドバンス理工
学内学外とも共用
K-359S1
スピナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
TCP121
金属蒸着装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
北野精機
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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