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名称 機関 メーカー 共用範囲
RHL-P610CP
赤外線ランプアニール装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
三友商工
学内学外とも共用
MILA-3000
ウェハ加熱装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック
学内学外とも共用
RTA-2000
赤外線ランプアニール装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
三友商工
学内学外とも共用
MSP-20-TK
マグネトロンスパッタ装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
真空デバイス
学内学外とも共用
SUSS MJB4 SPEC-TITS/01
マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
K359S1
スピナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
TP-306 H2001
酸化炉(Si,GaN,SiC)
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
UV-1
オゾンクリーナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
サムコ
学内学外とも共用
QHC-P610C
高速熱処理炉(RTA)1号機
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック理工
学内学外とも共用
K-359SD-1(1)
スピナー
東京科学大学
科学技術創成研究院
共和理研
学内学外とも共用
-
クリーンブース
東京科学大学
科学技術創成研究院
日立空調
学内学外とも共用
オルガノI型
超純水製造装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
オルガノ
学内学外とも共用
CRW2-19
ドラフト(2台)
東京科学大学
科学技術創成研究院
日立空調
学内学外とも共用
MJB3(1)
手動式マスクアライナ
東京科学大学
科学技術創成研究院
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
SVC-700TM
真空排気装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
サンユー電子
学内学外とも共用
VHC-P610CP
高速熱処理装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック
学内学外とも共用
CE-300I
ICPドライエッチング装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
アルバック
学内学外とも共用
SM-TKY2-MU-α?
誘導加熱式高温熱処理装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
SKメディカル電子
学内学外とも共用
-
不純物ガス導入システム
東京科学大学
科学技術創成研究院
-
学内学外とも共用
JEC-SP360R
高周波スパッタリング装置
東京科学大学
科学技術創成研究院
日本電子
学内学外とも共用
8400DC
比抵抗/ホール測定システム
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
東陽テクニカ
学内学外とも共用
TFS-200
ALD装置(Al2O3用)
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
Beneq
学内のみ
SR-H1000C
シート抵抗測定装置
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
ハイソル
学内学外とも共用
7476D
超音波熱圧着ウェッジワイヤーボンダー
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
ウエスト・ボンド
学内学外とも共用
-
DC/RFマグネトロンスパッタ装置
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
Kenix
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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