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名称 機関 メーカー 共用範囲
ELS-3700
電子ビーム描画装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
MA-6
両面マスクアライナ
北海道大学
情報科学研究院
ズースマイクロテック
学内学外とも共用
EBX-8C
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学
情報科学研究院
アルバック
学内学外とも共用
SSP3000Plus
スパッタ装置
北海道大学
情報科学研究院
菅製作所
学内学外とも共用
DAD322
ダイシングソー
北海道大学
情報科学研究院
DISCO
学内学外とも共用
DWL66HK
レーザー描画装置
北海道大学
電子科学研究所
ハイデルベルグ・インストルメンツ
学内学外とも共用
AD-230LP-H
プラズマ式原子層堆積装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
GMP-415V
ガラスインプリント装置
北海道大学
電子科学研究所
芝浦機械
学内学外とも共用
MILA-5000-P-N
卓上型ランプ加熱装置
北海道大学
電子科学研究所
アドバンス理工
学内学外とも共用
-
マニュアルスパッタ
北海道大学
電子科学研究所
自作
学内学外とも共用
ELS-F125-U
超高精度電子ビーム描画装置 125kV
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS-7000HM
超高精度電子ビーム描画装置 100 kV
北海道大学
電子科学研究所
エリオニクス
学内学外とも共用
MA-20
マスクアライナ
北海道大学
電子科学研究所
ミカサ
学内学外とも共用
DDB-201-200
レーザー描画装置
北海道大学
電子科学研究所
ネオアーク
学内学外とも共用
ED-1500R
真空蒸着装置
北海道大学
電子科学研究所
サンバック
学内学外とも共用
PD-220ESN
プラズマCVD装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
PD-10C1
液体ソースプラズマCVD装置
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
MPS-4000C1/HC1
ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
IBS-6000S
イオンビームスパッタ装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
SUNALE-R
原子層堆積装置(ALD)
北海道大学
電子科学研究所
Picosun
学内学外とも共用
RIE-101iPH
反応性イオンエッチング装置 RIE-101iPH
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
RIE-10NRV
反応性イオンエッチング装置 RIE-10NRV
北海道大学
電子科学研究所
サムコ
学内学外とも共用
NLD-500
ドライエッチング装置
北海道大学
電子科学研究所
アルバック
学内学外とも共用
ELS-3700
電子ビーム描画装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS-7300(ERA-8000FE)
電子線描画装置
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
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自然科学研究機構 分子科学研究所 機器センター
電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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