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名称 機関 メーカー 共用範囲
J300
イオンミリング装置
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
RMTEC
学内学外とも共用
MB00-1002
電子ビーム蒸着装置
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
ULVAC
学内学外とも共用
-
マスクレス露光装置
東京科学大学
電子物性評価共用設備管理グループ
Neoark
学内学外とも共用
-
ステッパ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
ニコンテック
学内学外とも共用
YES-CV200RFS
アッシャー
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
Yeild engineering system
学内学外とも共用
DDB-701-DL-10
マスクレス露光装置
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
ネオアーク
学内学外とも共用
Fiji G2
原子層堆積装置2号機(ALD2号機)
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
Veeco/ALD
学内学外とも共用
DCVD-601BTG
マイクロ波プラズマCVD装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
アリオス
学内学外とも共用
JBX-8100
電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
日本電子
学内学外とも共用
-
ウェハプローバ
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
東京エレクトロン
学内学外とも共用
CM300
ウェハプローバ
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
Formfactor
学内学外とも共用
PN4400
C-Vプロファイラ
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
バイオ・ラッド ラボラトリーズ
学内学外とも共用
EVG301
ウェハ洗浄装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
EVG
学内学外とも共用
Hivox3001
酸化装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
エピクエスト
学内学外とも共用
-
薄膜評価用試料水平型X線回折装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
リガク
学内学外とも共用
-
プラズマCVD装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
住友精密工業
学内学外とも共用
VE-07-18?
表面活性化接合装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
アユミ工業
学内学外とも共用
KS-702KAM
マグネトロンスパッタリング装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
ケーサイエンス
学内学外とも共用
KS-702-KM
スパッタ成膜装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
ケーサイエンス
学内学外とも共用
EV-100ES
高真空蒸着装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
特注品
高真空蒸着装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
RIE-400iP
ICP-RIE
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
HR-3246
有機金属気相成長装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
日本酸素
学内学外とも共用
RIE-10NR
リアクテブイオンエッチング装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
RIE-101B
リアクテブイオンエッチング装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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