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名称 機関 メーカー 共用範囲
PD-240 1
プラズマCVD装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
PD-100ST
プラズマCVD装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
サムコ
学内学外とも共用
OC12-3021
基板貼付け装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
アユミ工業
学内学外とも共用
-
電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
GenISys
学内学外とも共用
特注品
対向ターゲット式RFスパッタリング装置(2元)
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
エフ・ティ・エスコーポレーション
学内学外とも共用
DAD322
ダイシングソー
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
ディスコ
学内学外とも共用
JBX-6300UA
電子ビーム描画装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
日本電子
学内学外とも共用
MX-1205
マスクレス露光装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
大日本科研(DNK)
学内学外とも共用
MA-8
コンタクト光学露光装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
ズース
学内学外とも共用
MX-1204
マスクレス露光装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
大日本科研(DNK)
学内学外とも共用
Fiji F200
原子層堆積装置
東京科学大学
ナノ構造造形支援事業
Ultratech/CambridgeNanotech
学内学外とも共用
-
ステッパ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
ニコンテック
学内学外とも共用
ELS-G100SZ
電子線描画装置
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
エリオニクス
学内学外とも共用
VF-1000
酸化炉
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
ジェイテクトサーモシステム
学内学外とも共用
MB95-1015
高真空蒸着装置
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
アルバック
学内学外とも共用
Fuhu F200
原子層堆積装置1号機(ALD1号機)
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
ケンブリッジナノテク
学内学外とも共用
UV-1
オゾンクリーナー
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
サムコ
学内学外とも共用
-
超高純度薄膜形成装置
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
エイコー
学内学外とも共用
YES-CV200RFS
アッシャー
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
Yeild engineering system
学内学外とも共用
Fiji G2
原子層堆積装置2号機(ALD2号機)
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
Veeco/ALD
学内学外とも共用
BCT21-HT kit
極低温プローバ用高温キット
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
ナガセ電子機器サービス
学内学外とも共用
HMP-400
高電圧プローバ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
ハイソル
学内学外とも共用
S/N TBB10291
4点曲げプローバ
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
雄山
学内学外とも共用
-
プローバー(3号機)
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
-
学内学外とも共用
-
ホットプレート
東京科学大学
先端研究基盤共用促進事業
-
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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