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名称 機関 メーカー 共用範囲
DAD321
ダイシングソー (dicing saw)
早稲田大学
株式会社ディスコ (DISCO Corporation)
学内学外とも共用
特注品
データコンバートシステム (data converter)
早稲田大学
有限会社君塚製作所 (KSS Internet)
学内学外とも共用
DSO X-3054T N9322C ZM2371
電気計測装置群(オシロスコープ、スペクトルアナライザー、LCRメーター、等)?(Electrical measuring device group)
早稲田大学
キーサイト 株式会社エヌエフ回路設計ブロック (Keysight Technologies, Inc. NF CORPORATION)
学内学外とも共用
PD-220
プラズマCVD装置 (TEOS-CVD)
早稲田大学
サムコ (samco)
学内学外とも共用
クリーンルーム微細加工装置群 (clean room facility)
北陸先端科学技術大学院大学
-
学内学外とも共用
RIE-800iPB
ICP-RIE装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
サムコ
学内学外とも共用
RIE-10N
RIE装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
サムコ
学内学外とも共用
DAD522
ダイシングソー
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
DISCO
学内学外とも共用
Multiplex-ASE-LS
ICP装置(シリコン深掘り装置)
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
住友精密工業株式会社
学内学外とも共用
EIS-230S
ECRスパッタ装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
エリオ二クス
学内学外とも共用
CE-300IN
ICPエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
アルバック
学内学外とも共用
S-5200
走査型電子顕微鏡
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
日立ハイテク(株)
学内学外とも共用
S-4300
走査型電子顕微鏡
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
日立ハイテク(株)
学内学外とも共用
-
分子線エピタキシー装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
(株)エイコーエンジニアリング
学内学外とも共用
RIE-10NR
RIEエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
サムコ
学内学外とも共用
AFTEX-3420
スパッタ絶縁膜作製装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
エム・イー・エス・アフティ(株)
学内学外とも共用
K-310P100S
フォトリソグラフィ
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
共和理研
学内学外とも共用
EBX-10D
電子ビーム蒸着装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
アルバック
学内学外とも共用
DWL-66Fs
レーザー描画装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
(株) 日本レーザー
学内学外とも共用
E-200S
スパッタリング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
キャノンアネルバ
学内学外とも共用
PLA-501(S)
マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
キャノン社製
学内学外とも共用
NH-20SR-WMH
イオン注入装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
日新電機社製
学内学外とも共用
MODEL272-2
電気炉
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
光洋リンドバーグ社製
学内学外とも共用
Heatpulse 610
急速加熱処理装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
AG Associates社製 
学内学外とも共用
-
8元マグネトロンスパッタ装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
-
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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