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名称 機関 メーカー 共用範囲
MS-B100
スピンコーター
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
MIKASA
部局内のみ
EW-100
分子線堆積装置
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
エイコー
学内のみ
MILA-3000
急速熱処理装置
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
アドバンス理工
学内のみ
ES-350
スパッタリング堆積装置
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
エイコー
学内のみ
IZU-M2
Arイオンミリング装置
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
和泉テック
学内学外とも共用
8400AC/M型
比抵抗ホール測定システム
九州大学
システム情報科学研究院
東陽テクニカ
学内のみ
MS-2B-3
酸化物半導体薄膜用スパッタリング成膜装置
九州大学
システム情報科学研究院
コスモシステム
学内のみ
3400UD
ECRスパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アフティ
学内のみ
SP561-AL
原子層堆積(ALD)装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
スプリード
学内学外とも共用
SPQ-203T
超高真空スパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック九州
学内のみ
SPQ-303T
マグネトロンスパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック九州
学内のみ
L-100-HF
三源マグネトロンスパッタリング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アネルバ
学内のみ
RHQ-06TP
Al蒸着装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック九州
学内のみ
UL-400EB
電子ビーム蒸着装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アネルバ
学内のみ
KTF-773N
酸化/アニール炉
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
光洋サーモシステム
学内のみ
-
ウェット酸化/拡散炉
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
光洋サーモシステム
学内のみ
KTF433NKN
高温処理炉
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
光洋サーモシステム
学内のみ
M-2LF
マスクアライナー
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ミカサ
学内のみ
MA-1200A
マスクアライナー
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
大日本印刷
学内のみ
NE-701
反応性イオンエッチング装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
アルバック
学内のみ
MARY-102
エリプソメーター
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ファイブラボ
学内のみ
ECLIPSE ME600L
光学顕微鏡
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ニコン
学内のみ
PR200
小型プラズマ装置
九州大学
半導体・デバイスエコシステム研究教育センター
ヤマト科学
学内のみ
フォトリソ装置
分子科学研究所
装置開発室
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置
分子科学研究所
装置開発室
ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions)
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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