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機関
メーカー
共用範囲
RSP-4-RF3×2
小型2源RFスパッタ装置 Cryovac RSP-4-RF3x2
分子科学研究所
装置開発室
クライオバック
学内学外とも共用
ELS-G100
電子ビーム描画装置
分子科学研究所
装置開発室
エリオニクス (Elionix Inc.)
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