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名称 機関 メーカー 共用範囲
フォトクリエーター PC-01-H
真空紫外光露光装置
北海道大学
エヌ工房
学内学外とも共用
MS-B1000
スピンコーター (Spin coater)
北海道大学
ミカサ (MIKASA)
学内学外とも共用
RIE-10NR
リアクティブエッチング装置
公立千歳科学技術大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
SC-M50XS
赤外線加熱単結晶製造装置(FZ炉)
公立千歳科学技術大学
キヤノンマシナリー (Canon Machinery)
学内学外とも共用
1HD7 K-359S1 SDB-1T
試料作製装置群 ・スピンコーター ・スピンコーター ・グローブボックス
公立千歳科学技術大学
ミカサ 共和理研 美輪製作所 ( Mikasa KYOWARIKEN Miwa Manufacturing)
学内学外とも共用
QAM-4-S
スパッタ装置
東北大学
材料科学高等研究所
アルバック九州
学内学外とも共用
JBX-9300SA,100keV電子ビーム
電子線描画装置
東北大学
電気通信研究所
日本電子,スポットビーム
学内学外とも共用
SELFRAG Lab S2.0
高電圧パルス選択性粉砕装置
東北大学
多元物質科学研究所
SELFRAG AG
学内学外とも共用
HNCD-4-SL #1
ウェットベンチ(無機用・高清浄)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
HNCD-4-SL #2
ウェットベンチ(無機用・汎用)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
HNCD-4-SL #3
ウェットベンチ(無機用・メタル専用)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
HNCD
ウェットベンチ(有機用・リソグラフィ)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日立プラント
学内学外とも共用
200SP
特殊型Siウェハ洗浄乾燥装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
エス・イー・エス
学内学外とも共用
FPA3000-EX3
KrFステッパ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
キヤノン
学内学外とも共用
Mark8
コータデベロッパ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
EMA-400
アライナー
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ユニオン光学
学内学外とも共用
EXCEED2300AH
中電流イオン注入装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
日新イオン機器
学内学外とも共用
BEOL炉(α-8SE)
低温拡散炉、水素処理炉
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
RLSA 2B
プラズマ酸化・窒化
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
Formula
LPCVD装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
LT-PECVD
マイクロ波プラズマCVD装置(SiN)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
PYROX-216E
常圧CVD装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
TEMPRESS
学内学外とも共用
-
マイクロ波Si・絶縁膜RIE装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
東京エレクトロン
学内学外とも共用
金属薄膜用洗浄装置
特殊型室温枚葉洗浄装置A
東北大学
未来科学技術共同研究センター
リアライズ ・アドバンストテクノロジ
学内学外とも共用
CABL-9520CE
電子ビーム露光装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
クレステック
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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