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名称 機関 メーカー 共用範囲
SC-701AT
SEM前処理用スパッタ
東北大学
電気通信研究所
サンユー電子
学内学外とも共用
1H-360S
スピンコーター(EB用 1H-360S)
東北大学
電気通信研究所
ミカサ
学内学外とも共用
MS-A150
スピンコーター(U4 MS-A150)
東北大学
電気通信研究所
ミカサ
学内学外とも共用
MS-A150
スピンコーター(U13 MS-A150)
東北大学
電気通信研究所
ミカサ
学内学外とも共用
MS-A200
スピンコーター(MS-A200)
東北大学
電気通信研究所
ミカサ
学内学外とも共用
PMC720
ホットプレート(EB用 PMC720)
東北大学
電気通信研究所
-
学内学外とも共用
HP-1SA
ホットプレート(U4 HP-1SA)
東北大学
電気通信研究所
アズワン
学内学外とも共用
HHP-230SQ
ホットプレート(U13 HHP-230SQ)
東北大学
電気通信研究所
アズワン
学内学外とも共用
CTA401
恒温槽(U1 CTA401)
東北大学
電気通信研究所
ヤマト科学
学内学外とも共用
ACE-10AN
恒温槽(ACE-10AN)
東北大学
電気通信研究所
KELK
学内学外とも共用
UIS-5011 MIKY-AGG01
UVキュア
東北大学
電気通信研究所
ウシオ電機
学内学外とも共用
ADP300
真空定温乾燥機
東北大学
電気通信研究所
ヤマト科学
学内学外とも共用
MJB-3
マスクアライナー(サブミクロンマスクアライメント MJB-3)
東北大学
電気通信研究所
SUSS
学内学外とも共用
DWL200
レーザー描画装置
東北大学
電気通信研究所
Heidelberg Instruments
学内学外とも共用
MJB-3
マスクアライナー(スピンデバイス用リソグラフィ装置 MJB-3)
東北大学
電気通信研究所
SUSS
学内学外とも共用
-
ナノスピン熱処理装置(Si室)
東北大学
電気通信研究所
システムサービス
学内学外とも共用
RT-70/RG-7
4探針抵抗率測定器(Si室)
東北大学
電気通信研究所
ナプソン
学内学外とも共用
-
SiO2加工ドライエッチング(Si室)
東北大学
電気通信研究所
アネルバ
学内学外とも共用
EVP-38877
ナノ・スピンメタルスパッタリングシステム(3FCR)
東北大学
電気通信研究所
アネルバ
学内学外とも共用
7476D
ボンダー(A408)
東北大学
電気通信研究所
WEST・BOND
学内学外とも共用
-
スパッタ装置(3FCR)
東北大学
電気通信研究所
アネルバ
学内学外とも共用
ESE-09
金属蒸着装置(3FCR)
東北大学
電気通信研究所
日本シード研究所
学内学外とも共用
MJB4
マスクアライナー(3FCR)
東北大学
電気通信研究所
SUSS MicroTec
学内学外とも共用
DDB-201-TU375
レーザー直接描画装置
東北大学
電気通信研究所
ネオアーク
学内学外とも共用
-
中型ECR堆積装置
東北大学
電気通信研究所
-
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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