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名称 機関 メーカー 共用範囲
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小型ECR堆積装置
東北大学
電気通信研究所
-
学内学外とも共用
DWL66+
レーザー描画装置
東北大学
電気通信研究所
ハイデルベルグ・インストルメンツ
学内学外とも共用
USK-3R
超音波洗浄器
東北大学
電気通信研究所
アズワン
学内学外とも共用
JBX-8100FS
電子線描画装置
東北大学
電気通信研究所
日本電子
学内学外とも共用
PSH1200
エッチングチャンバー (Draft chamber)
東北大学
アズワン (As one)
学内学外とも共用
-
有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)
東北大学
-
学内学外とも共用
-
リン酸槽 (Draft chamber for SiN etching)
東北大学
-
学内学外とも共用
ZAA-4
スピン乾燥機 (Spin dryer)
東北大学
東邦化成 (Toho Kasei)
学内学外とも共用
PSC101
4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)
東北大学
SEMITOOL (SEMITOOL)
学内学外とも共用
PSC101
6スピン乾燥機 (6 Spin dryer)
東北大学
SEMITOOL (SEMITOOL)
学内学外とも共用
DR22
シンター用オーブン (Sintering oven)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
DP-31
真空オーブン (Vacuum oven)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
特注
ブラシスクラバ (Brush scrubber)
東北大学
全協化成 (Zenkyo)
学内学外とも共用
1H-DXII
ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)
東北大学
ミカサ (Mikasa)
学内学外とも共用
ASC-4000
アクテス スピンコータ#1 (Spin coater)
東北大学
アクテス (Actes)
学内学外とも共用
ASC-4000W
アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)
東北大学
アクテス (Actes)
学内学外とも共用
HHP-230SQ
ホットプレート (Hot plate)
東北大学
Shamal (Shamal)
学内学外とも共用
DE62
クリーンオーブン (Clean oven)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
MA6/BA6
両面アライナ (Double-side aligner)
東北大学
SUSS (SUSS)
学内学外とも共用
DWL2000CE
レーザ描画装置 (Laser writer)
東北大学
Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
MLA150
マスクレスアライナ (Maskless aligner)
東北大学
Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
ADE-3000S
スプレー現像装置 (Spray developer)
東北大学
アクテス (Actes)
学内学外とも共用
-
現像ドラフト (Draft chamber for development)
東北大学
-
学内学外とも共用
ZAA-4
スピン乾燥機 (Spin dryer)
東北大学
東邦化成 (Toho Kasei)
学内学外とも共用
ACS200Gen3
コータデベロッパ (Coater developer)
東北大学
Suss (Suss)
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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