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名称 機関 メーカー 共用範囲
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エッチング装置(レジスト Ashing用)?(Asher)
広島大学
神戸製鋼
学内学外とも共用
12-228PH
エッチング装置(ICP Poly-Siゲート用)?(Inductively coupled plasma etcher for poly-Si)
広島大学
株式会社ユーテック?(YOUTECUniversal Technics Co.,Ltd )
学内学外とも共用
VX-20S
エッチング装置(汎用)?(Dry etching system for general purpose)
広島大学
株式会社エイコー?(EIKO CORPORATION)
学内学外とも共用
C-51
プローバ
広島大学
日本マイクロニクス?(Micronics Japan)
学内学外とも共用
4156他
半導体パラメータアナライザ?(Semiconductor Parameter Analyzer)
広島大学
アジレント
学内学外とも共用
4284他
LCRメータ
広島大学
アジレント
学内学外とも共用
4294他
インピーダンスアナライザ
広島大学
アジレント
学内学外とも共用
HL5500PC
ホール効果測定装置
広島大学
ACCENT
学内学外とも共用
JSM-7100F
EBSD解析装置
広島大学
日本電子?(JEOL Ltd.)
学内学外とも共用
SIMS6650
二次イオン質量分析装置?(SIMS)
広島大学
アルバックファイ?(ULVAC-PHI, Inc.)
学内学外とも共用
ZSX-400
蛍光X線分析装置(XRF)?(XRF)
広島大学
リガク?()
学内学外とも共用
ESCA-3400
X線光電子分光装置(XPS)?(X-ray photoelectron spectroscopy)
広島大学
クレイトスアナリティカル?()
学内学外とも共用
ATX-E
薄膜構造評価X線回析装置(XRD)?(X-ray diffraction spectrometer)
広島大学
リガク?()
学内学外とも共用
JSM-IT800
走査電子顕微鏡
広島大学
日本電子
学内学外とも共用
M2000-D
分光エリプソメーター?(Spectroscopic ellipsometer)
広島大学
J.A. Woollam Japan?(J.A. Woollam Japan)
学内学外とも共用
AFT 5000
干渉式膜厚計?(Spectroscopic reflectometer)
広島大学
ナノメトリクスジャパン?(Nanometrics Inc)
学内学外とも共用
SPI3800
原子間力顕微鏡?(AFM)
広島大学
セイコーインスツルメンツ?(Seiko Instruments Inc.)
学内学外とも共用
Dektak XT-E
表面段差計?(Profilometer)
広島大学
BRUKER?(BRUKER)
学内学外とも共用
DAD322
ダイサー
広島大学
ディスコ?(DISCO Corporation)
学内学外とも共用
PDMS加工装置
広島大学
魁・THINKEYほか?()
学内学外とも共用
ダヴィンチCOLOR
3Dプリンタ
広島大学
XYZ
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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