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名称 機関 メーカー 共用範囲
AVANCE II 801型LC-NMR/MS装置
AVANCE II 801型LC-NMR/MS装置、窒素蒸発防止補助装置
京都大学
エネルギー理工学研究所
ブルカー・バイオスピン
学内学外とも共用
マスクレス露光装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ナノシステムソリューションズ
学内学外とも共用
RIE-800iPB-KU
深堀りドライエッチング装置 (2)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
サムコ
学内学外とも共用
SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU
手動露光・ボンドアライメント装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
L1512G
電子線型加速器
京都大学
複合原子力科学研究所
Applied Radiation
学内学外とも共用
重水中性子照射設備
京都大学
複合原子力科学研究所
日立製作所/ユニテック/東洋メディック
学内学外とも共用
低速陽電子ビームシステム
京都大学
複合原子力科学研究所
バキュームプロダクツ
学内学外とも共用
ナノスケールX線構造解析装置 NANO-VIEWER
Cu線源 X線小角散乱装置、Mo線源 X線小角散乱装置 (1)
京都大学
複合原子力科学研究所
リガク
学内学外とも共用
Cu波長X線発生装置 MicroMax007HF(Cuターゲット)
Cu線源 X線小角散乱装置、Mo線源 X線小角散乱装置 (2)
京都大学
複合原子力科学研究所
リガク
学内学外とも共用
Cu型X線小角散乱分光器 NANOPIX
Cu線源 X線小角散乱装置、Mo線源 X線小角散乱装置 (3)
京都大学
複合原子力科学研究所
リガク
学内学外とも共用
臨界集合体実験装置
京都大学
複合原子力科学研究所
日本鋼管株式会社
学内学外とも共用
MA-10
紫外線露光装置 (Contact Mask Aligner)
京都大学
(株)ミカサ (MIKASA CORPORATION)
学内学外とも共用
DELTA80 T3/VP SPEC-KU
厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 (Advanced Spin Coater )
京都大学
ズース・マイクロテック(株) (SUSS MicroTec)
学内学外とも共用
KRC-150CBU
レジスト塗布装置 (Photoresist Spin Coater )
京都大学
(株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.)
学内学外とも共用
USC-2000ST
スプレーコータ (Photoresist Spray Coater)
京都大学
ウシオ電機(株) (Ushio Inc.)
学内学外とも共用
KD-150CBU
レジスト現像装置 (Photoresist Developer)
京都大学
(株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.)
学内学外とも共用
KSC-150CBU
ウエハスピン洗浄装置 (Wafer Spin Cleaner )
京都大学
(株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.)
学内学外とも共用
Agilent7700s
ICP質量分析装置 (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer)
京都大学
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
学内学外とも共用
KD(EB)-150CBU
有機現像液型レジスト現像装置 (EB-Resist Developer)
京都大学
(株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.)
学内学外とも共用
BEAMER Full Package
近接効果補正システム (Proximity Effect Correction System)
京都大学
GenISys(株) (GenISys Inc.)
学内学外とも共用
SCRD401
超臨界洗浄・乾燥装置 (Supercritical Rinser & Dryer)
京都大学
(株)レクザム (Rexxam Co., Ltd.)
学内学外とも共用
MA/BA8 Gen3 SPEC-KU
両面マスク露光&ボンドアライメント装置
京都大学
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
Tanner Tools Pro
回路&レイアウト設計ツール (Ics Design & Layout Editor)
京都大学
タナーEDA
学内学外とも共用
MLA 150
マスクレス露光装置
京都大学
ハイデルベルグ・インストルメンツ
学内学外とも共用
MPO 100
二光子重合式3Dプリンター
京都大学
ハイデルベルグ・インストルメンツ
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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