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名称 機関 メーカー 共用範囲
RLA-1208-V
RTA装置B
東北大学
未来科学技術共同研究センター
光洋サーモシステム
学内学外とも共用
VD-8-300S
高温熱処理装置(1200℃)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
V&Hテクノロジーズ
学内学外とも共用
IZU-2500H
クラスタスパッタ装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
和泉テック
学内学外とも共用
-
オールメタル装置(プラズマ平坦化)
東北大学
未来科学技術共同研究センター
和泉テック
学内学外とも共用
WM2500
パーティクル検査装置A
東北大学
未来科学技術共同研究センター
トプコン
学内学外とも共用
ARK-LIPS
低温プローバ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ナガセ電子機器(ナガセテクノエンジニアリング)
学内学外とも共用
WXS-90S-L2
ソーラシミュレータ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ワコム電創
学内学外とも共用
VR-120S
抵抗率測定器
東北大学
未来科学技術共同研究センター
国際電気アルファ(日立国際電気)
学内学外とも共用
S300M-973
300mm高周波対応マニュアルプローバ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ベクターセミコン
学内学外とも共用
SQ-S11861B
マニュアルプローバ cascade 8inch,1/fノイズ計測システム付
東北大学
未来科学技術共同研究センター
Cascade Microtech
学内学外とも共用
MH4000
薄膜密度計
東北大学
未来科学技術共同研究センター
NEC三栄
学内学外とも共用
-
n&k測定装置
東北大学
未来科学技術共同研究センター
n&k Technology
学内学外とも共用
CVmap92A
水銀プローブ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
雄山
学内学外とも共用
N9455A
200mmウェーハ対応原子間力顕微鏡
東北大学
未来科学技術共同研究センター
サカタ理化学
学内学外とも共用
WAF3000
高清浄熱処理炉(3FCR)
東北大学
電気通信研究所
東栄科学産業
学内学外とも共用
-
MSEP-PVクラスタ
東北大学
未来科学技術共同研究センター
大亜真空
学内学外とも共用
-
インラインスパッタリング装置 C3010
東北大学
工学研究科(電子情報システム・応物系)
-
学内学外とも共用
FZ-4-10K-K-M
赤外線加熱合成炉
東北大学
金属材料研究所
クリスタルシステム
学内学外とも共用
SC-K15HD
赤外線加熱単結晶育成装置
東北大学
金属材料研究所
キャノンマシナリー
学内学外とも共用
SCII-EDH-KS
赤外線加熱単結晶育成装置(整備品)
東北大学
金属材料研究所
キャノンマシナリー
学内学外とも共用
PR500
プラズマアッシャー?
東北大学
電気通信研究所
ヤマト科学
学内学外とも共用
UV-1
UVオゾンクリーナー
東北大学
電気通信研究所
サムコ
学内学外とも共用
V1000-TS
プラズマアッシャー?
東北大学
電気通信研究所
ヤマト科学
学内学外とも共用
MJB-4
マスクアライナ
東北大学
電気通信研究所
SUSS
学内学外とも共用
MX50A/T
金属顕微鏡 (MX50)
東北大学
電気通信研究所
オリンパス
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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