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名称 機関 メーカー 共用範囲
NE-550
汎用高品位ICPエッチング装置 ( ICP-RIE machine)
東京大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-Pegasus
高速シリコン深掘りエッチング装置 (Ultra Rapid Silicon Deep Reactive Ion Etching Machine)
東京大学
SPTS
学内学外とも共用
CE-S
塩素系ICPエッチング装置 ( ICP-RIE machine)
東京大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
RIE-10NR
汎用平行平板RIE装置 (Reactive Ion Etching system)
東京大学
サムコ (SAMCO)
学内学外とも共用
400ACE
集積回路パターン微細加工(FIB)装置 (FIB for LSI Repair)
東京大学
FEI
学内学外とも共用
NLD-5700Si
汎用NLDエッチング装置 (Neutral Loop Discharge (NLD) plasm dry etching system)
東京大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
VPE-4F
XeF2ドライエッチングシステム (XeF2 Dry Etching System)
東京大学
サムコ株式会社 (SAMCO Inc.)
学内学外とも共用
IB15930CP
クロスセクションポリッシャー (Cross Section Polisher)
東京大学
日本電子 (JEOL)
学内学外とも共用
NSP II
4インチ高真空EB蒸着装置 ( Ultra high vacuum evaporator)
東京大学
自作 (DIY)
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL
川崎ブランチスパッタリング装置 (Multple Cathode Magnetron Sputtering System, CFS-4EP-LL)
東京大学
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
学内学外とも共用
EIS-230W
川崎ブランチECRスパッタリング装置 (Electron-Cyclotron Resonance (ECR) Ion Beam Sputter Deposition System, EIS-230W)
東京大学
エリオニクス (ELIONIX)
学内学外とも共用
SIH-450
8インチ汎用スパッタ装置 (General purpose Sputtering machine, ULVAC SIH-450)
東京大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
CFS-4ES
高密度汎用スパッタリング装置 (Sputter )
東京大学
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
学内学外とも共用
-
金メッキ装置 (Gold electroplating apparatus)
東京大学
山本鍍金試験器 (Yamamoto-MS)
学内学外とも共用
-
銅メッキ装置 (Copper electroplating apparatus)
東京大学
山本鍍金試験器 (Yamamoto-MS)
学内学外とも共用
-
超臨界銅成膜装置 (Supercritical Flude (SCF) Deposition)
東京大学
自作 (DIY)
学内学外とも共用
PDS2010
パリレンコーター (Parylene Coater)
東京大学
米国SCS社 (Specialty Coating Systems)
学内学外とも共用
-
ニッケルめっき装置 (Nikkel Electroplating)
東京大学
山本鍍金試験器 (Yamamoto-MS)
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL !-Miller
LL式高密度汎用スパッタリング装置 (LL-type High-density General Purpose Sputtering System)
東京大学
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
学内学外とも共用
EB-380
8元電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)
東京大学
エイコー (EIKO)
学内学外とも共用
CADE-4T
カーボンコーター (Carbon coater )
東京大学
明和フォーシス (Meiwafosis )
学内学外とも共用
PECS
電子線顕微鏡観察用コーター (Coater for SEM analysis)
東京大学
Gatan
学内学外とも共用
BB7873
2インチ3元電子線蒸着装置
東京大学
アルバック
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL !-Miller (2024)
LL式高密度汎用スパッタリング装置(2024)
東京大学
芝浦メカトロニクス
学内学外とも共用
-
クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps)
東京大学
-
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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