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名称 機関 メーカー 共用範囲
SVC-700LRF
RFスパッタ成膜装置(絶縁体成膜用)?(RF sputtering system (oxide))
大阪大学
サンユー電子
学内学外とも共用
MB02-5002
誘導結合型RFプラズマ支援スパッタ装置(ICP-RFスパッタ装置)?(RF-Sputtering System with Inductively Coupled Plasma )
大阪大学
アルバック
学内学外とも共用
UEP-2000 OT-H/C
EB蒸着装置?(EB deposition system)
大阪大学
アルバック
学内学外とも共用
MC-LMBE
自動制御型パルスレーザ蒸着ナノマテリアル合成装置?(Automatic pulsed laser deposition nano-materials synthesis system)
大阪大学
パスカル
学内学外とも共用
CFS
研究開発用マグネトロンスパッタリング装置
岡山大学
惑星物質研究所
芝浦メカトロニクス
学内学外とも共用
-
高真空抵抗加熱蒸着装置
岡山大学
自然生命科学研究支援センター
旭商会
学内のみ
L-210-L
エッチング装置
岡山大学
自然生命科学研究支援センター
キャノンアネルバ
学内のみ
ELS-S50KB
電子線描画装置
岡山大学
自然生命科学研究支援センター
エリオニクス
学内のみ
KAA-3
抵抗加熱酸化膜蒸着装置
岡山大学
自然生命科学研究支援センター
旭商会
学内のみ
M-KBF768N1
大型電気加熱炉
岡山大学
異分野基礎科学研究所
光洋サーモシステム
学内学外とも共用
ELS-G100
超高精度電子ビーム描画装置
広島大学
エリオニクス?(Elionix)
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置
広島大学
株式会社ナノシステムソリューションズ?(NanoSystem Solutions, Inc.)
学内学外とも共用
MLA-150
マスクレス露光装置
広島大学
ハイデルベルグ・インストルメンツ?(Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
スピンコータ
広島大学
タツモ(株)?(TAZMO)
学内学外とも共用
EC-1200NP
プログラム・ホットプレート
広島大学
アズワン株式会社
学内学外とも共用
L-Edit
レイアウト設計ツール
広島大学
Tanner?(Tanner)
学内学外とも共用
IntelliSuite
MEMS設計ツール (IntelliSuite)
広島大学
インテリセンス
学内学外とも共用
IMX-3500 (手動高温仕様)
高温イオン注入装置 (Ion implanter)
広島大学
アルバック
学内学外とも共用
酸化炉
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
サムコ製 HT-1000
Rapid Thermal Anneal装置(RTA)
広島大学
サムコ?(Samco Inc.)
学内学外とも共用
370MI- MINI
インプラ後アニール炉
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
370MI- MINI
ウェル拡散炉
広島大学
東京エレクトロン?(Tokyo Electron)
学内学外とも共用
ポストメタライゼーションアニール(PMA)炉?(Post-metallization annealing furnaces)
広島大学
神港精機?(SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
燐拡散炉?(Phosphorus diffusion furnaces)
広島大学
神港精機?(SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
KTF453N-VP
汎用熱処理装置?(Annealing furnaces for general purpose)
広島大学
光洋サーモシステム?()
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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