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名称 機関 メーカー 共用範囲
RIE-101iPH
ICP-RIE装置 (Inductively Coupled Plasma reactive ion etching)
早稲田大学
サムコ株式会社 (Samco Inc.)
学内学外とも共用
RIE-10NR
CCP-RIE装置 (Capacitive Coupled Plasma reactive ion etching)
早稲田大学
サムコ株式会社 (Samco Inc.)
学内学外とも共用
RIE-400iPB
Deep-RIE装置 (deep reactive ion etching)
早稲田大学
サムコ株式会社 (Samco Inc.)
学内学外とも共用
NB-5000
集束イオン/電子ビーム加工観察装置?(Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopy)
早稲田大学
株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
学内学外とも共用
S-4800
電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
早稲田大学
株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
学内学外とも共用
SU8240
電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
早稲田大学
株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
学内学外とも共用
S5500
電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
早稲田大学
株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
学内学外とも共用
MA6
紫外線露光装置 (ultraviolet lithography)
早稲田大学
ズース マイクロテック グループ (SUSS MicroTec Group)
学内学外とも共用
ELS-7500
電子ビーム描画装置 (Electron Beam Lithography Exposure)
早稲田大学
株式会社エリオニクス (ELIONIX INC.)
学内学外とも共用
MLA150
レーザー直接描画装置 (Advanced Maskless Aligner )
早稲田大学
ハイデルベルグ・ジャパン株式会社 (Heidelberger Druckmaschinen AG)
学内学外とも共用
nanofinder 30
顕微ラマン分光装置 (Raman Microscope)
早稲田大学
株式会社 東京インスツルメンツ (Tokyo Instruments, Inc.)
学内学外とも共用
プロファイラーP-15
触針式段差計 (Stylus Profiler)
早稲田大学
ケーエルエー・テンコール株式会社 (KLA Corporation. )
学内学外とも共用
プローバ:長瀬産業社製(特注品) 測定装置:アジレント社製B1505A
高耐圧デバイス測定装置+ 高耐圧プローバ (high votage semiconductor device analyzer)
早稲田大学
プローバ:長瀬産業株式会 (特注品) 測定装置:アジレント社製B1505A (NAGASE & CO., LTD.)
学内学外とも共用
プローバ:長瀬産業社製(特注品) 測定装置:アジレント社製B1500A LCRメータ4284A
高性能半導体デバイス アナライザ+プローバ (semiconductor device analyzer)
早稲田大学
キーサイト・テクノロジー株式会社 (Keysight Technologies, Inc.)
学内学外とも共用
iCAP Qc ICP-MS
誘導結合プラズマ 質量分析装置 (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)
早稲田大学
サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.)
学内学外とも共用
FT/IR-6200+加熱ATR測定部改造
フーリエ変換赤外分光計 (Fourier Transform Infrared Spectroscopy)
早稲田大学
日本分光株式会社 (JASCO Corporation)
学内学外とも共用
UVISEL ER AGMS iHR320
高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry)
早稲田大学
株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
学内学外とも共用
DAD321
ダイシングソー (dicing saw)
早稲田大学
株式会社ディスコ (DISCO Corporation)
学内学外とも共用
特注品
データコンバートシステム (data converter)
早稲田大学
有限会社君塚製作所 (KSS Internet)
学内学外とも共用
DSO X-3054T N9322C ZM2371
電気計測装置群(オシロスコープ、スペクトルアナライザー、LCRメーター、等)?(Electrical measuring device group)
早稲田大学
キーサイト 株式会社エヌエフ回路設計ブロック (Keysight Technologies, Inc. NF CORPORATION)
学内学外とも共用
PD-220
プラズマCVD装置 (TEOS-CVD)
早稲田大学
サムコ (samco)
学内学外とも共用
FLUOVIEW FV3000
共焦点レーザー走査型顕微鏡
早稲田大学
株式会社 エビデント (EVIDENT)
学内学外とも共用
GDA750
グロー放電分光分析装置
早稲田大学
株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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