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名称 機関 メーカー 共用範囲
ELS-7500EX
電子線描画装置 (Electron beam lithography system)
香川大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
MX-1204
マスクレス露光装置 (Mask-less exposure system)
香川大学
大日本科研 (Jpn.Sci.Eng.)
学内学外とも共用
MS-B150
スピンコータ- (Spin-coater)
香川大学
ミカサ (MIKASA)
学内学外とも共用
10W-IBS
デュアルイオンビ-ムスパッタ装置 (Dual ion beam sputtering system)
香川大学
ハシノッテク (Hashino-tech)
学内学外とも共用
Dektak8
触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system)
香川大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
NT91001A-in motion
白色干渉式非接触三次元形状測定器 (White light interference type non-contact three-dimensional shape measuring system)
香川大学
ブルカー・エイエックスエス (Bruker)
学内学外とも共用
NH-3N
レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学
三鷹光器
学内学外とも共用
KH-7700
デジタルマイクロスコープ (Digital microscope)
香川大学
ハイロックス (Hirox)
学内学外とも共用
DAD3220
ダイシングマシン (Dicing system)
香川大学
DISCO (Disco)
学内学外とも共用
PM5
ウェハプローバ (Wafer prober)
香川大学
カール・ズース (SUSS MicroTec)
学内学外とも共用
DHA-XA/M8
エリプソメータ (Film thickness measuring system)
香川大学
溝尻光学 (Mizojiri-opt)
学内学外とも共用
JSM-IT800SHL, JCM-7000, JFC-3000FC Femto
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope)
香川大学
日本電子
学内学外とも共用
VK-X3100
白色干渉搭載レーザ顕微鏡 (White light interference type Laser Microscope)
香川大学
キーエンス
学内学外とも共用
AD-1200(無機用),AD-1200(有機用)
ウエハスピン現像装置
香川大学
滝沢産業
学内学外とも共用
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200
光干渉式膜厚測定装置
香川大学
シータメトリシス
学内学外とも共用
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自然科学研究機構 分子科学研究所 機器センター
電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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