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名称 機関 メーカー 共用範囲
-
8元MBE装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
-
学内学外とも共用
ECRイオンガン:RGB-114 SIMS検出器:EDP400
ECR-SIMSエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
ECRイオンガン:入江工研社製 SIMS検出器:PFEIFFER社製
学内学外とも共用
HSR-522
3元マグネトロンスパッタ装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
島津製作所
学内学外とも共用
FPB20
超高密度大気圧プラズマ装置
東海国立大学機構・名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター
富士機械製造株式会社
学内学外とも共用
-
超高密度液中プラズマ装置
東海国立大学機構・名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター
NUシステム会社
学内学外とも共用
L-240G-IA EVP-37024
大気圧IAMS(イオン付着質量分析器)
東海国立大学機構・名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター
キャノンアネルバ
学内学外とも共用
-
真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
東海国立大学機構・名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター
NUシステム社製
学内学外とも共用
I-4100 SV?
二周波励起プラズマエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター
キヤノンアネルバ社製
学内学外とも共用
SS/MRI-N
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
東海国立大学機構・名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター
NUエコ・エンジニアリング社製
学内学外とも共用
HB10
ワイヤボンダ
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
TPTジャパン
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
(株) ナノシステムソリューションズ
学内学外とも共用
AD-100LE
原子層堆積装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
サムコ
学内学外とも共用
RIE-200iPN
ICPエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
サムコ
学内学外とも共用
MILA-5050
卓上型ランプ加熱装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
アドバンス理工
学内学外とも共用
EB-350T
高真空電子線ビーム蒸着装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
エイコー
学内学外とも共用
高真空熱処理装置 NEV-SC-330型
溶液法結晶成長炉
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
日新技研株式会社
学内学外とも共用
PALET DDB-701-DL4
マスクレス露光装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
ネオアーク
学内学外とも共用
RIE-10NR
反応性イオンエッチング装置
東海国立大学機構・名古屋大学
未来材料・システム研究所
サムコ
学内学外とも共用
DAD3221
ダイシングソー
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
ディスコ
学内学外とも共用
PD-220N
プラズマCVD装置
東海国立大学機構・名古屋大学
工学研究科
サムコ
学内学外とも共用
JBX6300FS
電子線露光装置
東海国立大学機構・名古屋大学
日本電子
学内学外とも共用
MA-6
両面露光用マスクアライナ
東海国立大学機構・名古屋大学
Suss MicroTec AG
学内学外とも共用
UFL-Hybrid
フェムト秒レーザー加工分析システム
東海国立大学機構・名古屋大学
輝創
学内学外とも共用
DC110
スプレーコーター
東海国立大学機構・名古屋大学
サンメイ
学内学外とも共用
MODEL270-M100
酸化・拡散炉
東海国立大学機構・名古屋大学
光洋リンドバーグ
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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