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名称 機関 メーカー 共用範囲
ADEPT-1010
二次イオン質量分析装置(D-SIMS) (Secondary Ion Mass Spectrometer (D-SIMS))
産業技術総合研究所
アルバックファイ (ULVAC PHI)
学内学外とも共用
MAT-200KS
ウェハー酸化炉 (Oxidation Furnace)
産業技術総合研究所
マテルス (MATELS)
学内学外とも共用
Alpha-Step IQ
触針式段差計 (Contact Profiler)
産業技術総合研究所
KLA テンコール (KLA-Tencor)
学内学外とも共用
Nanoscope?/Dimension3100
走査プローブ顕微鏡SPM_1[Nanoscope?/Dimension3100] (Scanning Probe Microscope 1 (SPM1, NanoscopeIV/Dimension 3100))
産業技術総合研究所
デジタルインスツルメンツ (Veeco/Digital Instruments )
学内学外とも共用
SPM-9700
走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] (Scanning Probe Microscope 2〔SPM2, SPM-9600/9700〕)
産業技術総合研究所
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
SFT_3500
ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500] (Scanning Probe Microscope 3〔SPM3, SFT-3500, Nano Search Microscope〕)
産業技術総合研究所
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
N-6000SS
ナノプローバ[N-6000SS] (NanoProber〔N-6000SS〕)
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
K-89PS40μR, K-89PS150μR
四探針プローブ抵抗測定装置 (Four Point Probe Resistance Measurement System)
産業技術総合研究所
ケースレーインスツルメンツ (Keithley Instruments)
学内学外とも共用
4156C
デバイスパラメータ評価装置 (Semiconductor Device Parameter Analyzer)
産業技術総合研究所
アジレントテクノロジー (Agilent)
学内学外とも共用
Model 82-WIN, 4284A LCRメータ
デバイス容量評価装置 (Capacitance-Voltage (C-V) Analyzer)
産業技術総合研究所
ケースレー アジレント (Keithley Agilent)
学内学外とも共用
VK-9700
短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] (Laser Microscope〔VK-9700〕)
産業技術総合研究所
キーエンス (KEYENCE)
学内学外とも共用
OLS-4100
短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100] (Laser Microscope〔OLS-4100〕)
産業技術総合研究所
オリンパス (Olympus)
学内学外とも共用
UVISEL-M200-FUV-FGMS
分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer)
産業技術総合研究所
堀場 Jovin-Yvon (Horiba Jovin-Yvon)
学内学外とも共用
DXR-Raman Microscope
顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) (Laser Raman Spectrometer(RAMAN))
産業技術総合研究所
サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
学内学外とも共用
Nicolet6700(本体)、Continuμm(顕微)
顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) (Fourier Transform Infrared Spectrometer (FT-IR))
産業技術総合研究所
サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
学内学外とも共用
MPMS-5S
磁気特性測定システム(MPMS) (Magnetic Property Measurement System (MPMS))
産業技術総合研究所
日本カンタムデザイン (Quantum Design Japan)
学内学外とも共用
Ultima_III
X線回折装置(XRD) (X-ray Diffractometer(XRD))
産業技術総合研究所
リガク (Rigaku)
学内学外とも共用
SEA_5210A
微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer(XRF))
産業技術総合研究所
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
KRATOS ANALYTICAL
エックス線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))
産業技術総合研究所
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
PD-220SN
プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN) (Plasma-assisted CVD (SiN))
産業技術総合研究所
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
RIE-400iPS
化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE) (ICP-RIE (Compound Semiconductors))
産業技術総合研究所
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
MODEL6000
物理特性測定装置(PPMS) (Physical Property Measurement System (PPMS))
産業技術総合研究所
日本カンタム・デザイン (Quantum Design Japan)
学内学外とも共用
MJC_708fT-0114200SCSHP4284A
マニュアルウエハープローバー(2F) (Manual Wafer Prober)
産業技術総合研究所
MJCKEYTHLEYHP (MJCKEYTHLEYHP)
学内学外とも共用
RTP-6S
赤外線ランプ加熱炉(RTA) (RTA Furnace)
産業技術総合研究所
アドバンス理工 (ADVANCE RIKO)
学内学外とも共用
KLO-150CBU
高圧ジェットリフトオフ装置 ((High Pressure Jet Lift-off Equipment)
産業技術総合研究所
カナメックス (Kanamex)
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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