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名称 機関 メーカー 共用範囲
ATHENA/ATLAS
デバイスシミュレーター (Device Simulator)
筑波大学
SILVACO (SILVACO)
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL (i-miller)
スパッタリング装置 (Sputtering System)
筑波大学
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
学内学外とも共用
Helios NanoLab 600i
FIB-SEM (Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope)
筑波大学
FEI (FEI)
学内学外とも共用
EB-350T
電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)
筑波大学
エイコー (eiko)
学内学外とも共用
ELS-7500EX
電子線描画装置 (Electron Beam Lithography)
筑波大学
ELIONIX
学内学外とも共用
Dimension Icon
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
筑波大学
Bruker (Bruker)
学内学外とも共用
DAD322
ウェハーダイシングマシン (Wafer Dicing Machine)
筑波大学
DISCO
学内学外とも共用
SU-8020
電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
筑波大学
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
μPG501
パターン投影リソグラフィシステム (Maskless Lithography System)
筑波大学
Heidelberg instruments
学内学外とも共用
STO50-TBD01
インクジェットパターン形成装置 (Inkjet Printer)
筑波大学
SIJテクノロジ (SIJTechnology)
学内学外とも共用
Q 2001CT/MS-A100
微細パターン形成装置群(スピンコーター、マスクアライナー)(Photolithography system (Mask aligner, Spincoater))
筑波大学
Neutronix-Quintel/ミカサ ( Neutronix-Quintel/Mikasa)
学内学外とも共用
RIE-10NR
反応性イオンエッチング装置 (Reactive Ion Etching System)
筑波大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
B1500A
半導体特性評価システム (Electrical Measurement System)
筑波大学
キーサイト (Keysight)
学内学外とも共用
Alpha-Step D-500
触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter)
筑波大学
KLA-TENCOR (KLA-TENCOR)
学内学外とも共用
JPS-9010TR
X線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))
筑波大学
日本電子 (JEOL)
学内学外とも共用
B1505A
パワーデバイス特性評価装置 (Power Device Electrical Measurement System)
筑波大学
キーサイト (Keysight)
学内学外とも共用
THEMOS-1000
IRエミッション顕微鏡 (IR Emission Microscope)
筑波大学
浜松ホトニクス / TNSシステムズ / 東機通商 (Hamamatsu Photonics K.K. / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd)
学内学外とも共用
IM4000PLUS
イオンミリング (Ion Milling System)
筑波大学
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
UVISEL Plus
分光エリプソメータ (Ellipsometer)
筑波大学
堀場製作所 (Horiba)
学内学外とも共用
NRS-5100
顕微ラマン (Raman)
筑波大学
日本分光 (JASCO)
学内学外とも共用
CMPS-308-4K-6P-20
極低温プローブステーション (Cryogenic Probe station )
筑波大学
ナガセテクノエンジニアリング / TNSシステムズ / 東機通商 (Nagase Techno-Engineering Co., Ltd / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd)
学内学外とも共用
SR1800TS
超高温炉 (Rapid Thermal Annealing (RTA) System)
筑波大学
サーモ理工 (THERMO RIKO CO., LTD)
学内学外とも共用
7476D
ワイヤボンダー (Manual Wire Bonder)
筑波大学
WEST BOND (WEST BOND)
学内学外とも共用
10IBE-EPD_UoT-Y
終点検出器付き イオンミリング?(Ion Milling System with an end-point detector)
筑波大学
伯東
学内学外とも共用
PHI VersaProbe 4
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)
筑波大学
アルバック・ファイ
学内学外とも共用
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自然科学研究機構 分子科学研究所 機器センター
電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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