名称 | 機関 | メーカー | 共用範囲 |
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ELS-F130AN
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エリオニクス (ELIONIX) |
学内学外とも共用
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BEAMER
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ジェニシス (GenISys) |
学内学外とも共用
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i-Miller
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芝浦メカトロニクス (SHIBAURA) |
学内学外とも共用
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EIS-200ERP
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エリオニクス (ELIONIX) |
学内学外とも共用
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AD-100LP
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サムコ (Samco) |
学内学外とも共用
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PlasmaPro_100_Cobra
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オックスフォードインスツルメント (Oxford Instruments Plasma) |
学内学外とも共用
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FlexAL
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オックスフォードインスツルメント (Oxford Instruments Plasma) |
学内学外とも共用
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Quantera II
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アルバック・ファイ (ULVAC-PHI,) |
学内学外とも共用
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FlexAL
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オックスフォードインスツルメント (Oxford Instruments Plasma) |
学内学外とも共用
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ERA-9200
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エリオニクス (ELIONIX) |
学内学外とも共用
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ADS-E86
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アールデック (R-DEC) |
学内学外とも共用
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DWL66+
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ハイデルベルグ (Heidelberg Instruments) |
学内学外とも共用
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産総研自主開発 (AIST Original) |
学内学外とも共用
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-
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産総研自主開発 (AIST Original) |
学内学外とも共用
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-
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産総研自主開発 (AIST Original) |
学内学外とも共用
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(1) RSPM1:JSPM5400、(2) RSPM2:E-SWEEP/S-Image
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(1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII(現・日立ハイテクサイエンス) |
学内学外とも共用
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Avance III HD 600WB、Avance 200WB、minispec mq20
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ブルカー・ジャパン |
学内学外とも共用
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・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:HITACHI S-4500
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・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:日立 (・Detector: AIST Original ・SEM: HITACHI ) |
学内学外とも共用
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