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名称 機関 メーカー 共用範囲
ELS-F130AN
高速電子ビーム描画装置(エリオニクス) (Electron Beam Lithography System (Elionix))
産業技術総合研究所
エリオニクス (ELIONIX)
学内学外とも共用
BEAMER
解析用PC(CAD及び近接効果補正用) (PC (PEC and CAD))
産業技術総合研究所
ジェニシス (GenISys)
学内学外とも共用
i-Miller
RF-DCスパッタ成膜装置(芝浦) (RF-DC Sputter Deposition Equipment(Shibaura))
産業技術総合研究所
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA)
学内学外とも共用
EIS-200ERP
ECRスパッタ成膜・ミリング装置 (ECR sputter deposition and milling system)
産業技術総合研究所
エリオニクス (ELIONIX)
学内学外とも共用
AD-100LP
サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] (Atomic Layer Deposition_2〔AD-100LP〕)
産業技術総合研究所
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
PlasmaPro_100_Cobra
Si深堀エッチング装置〔PlasmaPro_100〕 (Si Deep RIE)
産業技術総合研究所
オックスフォードインスツルメント (Oxford Instruments Plasma)
学内学外とも共用
FlexAL
原子層堆積装置_3〔FlexAL〕 (Atomic Layer Deposition_3〔FlexAL〕)
産業技術総合研究所
オックスフォードインスツルメント (Oxford Instruments Plasma)
学内学外とも共用
Quantera II
原子層堆積装置_3付帯XPS装置(アルバック・ファイ) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))
産業技術総合研究所
アルバック・ファイ (ULVAC-PHI,)
学内学外とも共用
FlexAL
原子層堆積装置_4〔FlexAL〕 (Atomic Layer Deposition_4〔FlexAL〕)
産業技術総合研究所
オックスフォードインスツルメント (Oxford Instruments Plasma)
学内学外とも共用
ERA-9200
3次元電界放出形走査電子顕微鏡(エリオニクス) (3 Dimensional Field Emission SEM)
産業技術総合研究所
エリオニクス (ELIONIX)
学内学外とも共用
ADS-E86
6インチ電子ビーム真空蒸着装置(アールデック) (Electeron Beam Vacuum Evaporator)
産業技術総合研究所
アールデック (R-DEC)
学内学外とも共用
DWL66+
レーザー描画装置〔DWL66+〕 (Laser Beam Lithography)
産業技術総合研究所
ハイデルベルグ (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
-
陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) (Positron Probe MicroAnalyzer (PPMA))
産業技術総合研究所
産総研自主開発 (AIST Original)
学内学外とも共用
-
超伝導蛍光収量X線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS) (X-ray Absorption Fine Structure Spectroscopy with a Superconducting Fluorescence Detector (SC-XAFS))
産業技術総合研究所
産総研自主開発 (AIST Original)
学内学外とも共用
-
可視-近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) (Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer (VITA))
産業技術総合研究所
産総研自主開発 (AIST Original)
学内学外とも共用
(1) RSPM1:JSPM5400、(2) RSPM2:E-SWEEP/S-Image
リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )
産業技術総合研究所
(1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII(現・日立ハイテクサイエンス)
学内学外とも共用
Avance III HD 600WB、Avance 200WB、minispec mq20
固体NMR装置 (SSNMR) (Solid-State Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer (SSNMR))
産業技術総合研究所
ブルカー・ジャパン
学内学外とも共用
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:HITACHI S-4500
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))
産業技術総合研究所
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:日立 (・Detector: AIST Original ・SEM: HITACHI )
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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