名称 | 機関 | メーカー | 共用範囲 |
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SPC-2000HC
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アルバック (ULVAC, Inc.) |
学内学外とも共用
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JIS-300AK/ DBO-1KP-0
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シンク/ MBRAUN (Sinku of Technology Co., Ltd./ MBRAUN) |
学内学外とも共用
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自作
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自作 (Home-made) |
学内学外とも共用
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特型
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アルバック (ULVAC) |
学内学外とも共用
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自作
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自作 (Home-made) |
学内学外とも共用
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CFS-4ES
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芝浦エレテック (Shibaura eletec Corporatoin) |
学内学外とも共用
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BC2925(特注装置)
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アルバック (ULVAC) |
学内学外とも共用
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Fiji F200
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Ultratech/Cambridge Nano Tech (Ultratech/Cambridge Nano Tech) |
学内学外とも共用
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MX-1204
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大日本科研 (Japan Science Engineering Co., Ltd.) |
学内学外とも共用
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MA6
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ズース・マイクロテック (SUSS MicroTec) |
学内学外とも共用
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VPA-100改造
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VICインターナショナル (VIC international) |
学内学外とも共用
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特注
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東朋テクノロジー (Toho Technology Co.) |
学内学外とも共用
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縦型:MD-100P 横型:4001PSI
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縦型:ディー・エス・アイ テクノロジー 横型:光洋サーモシステム (縦型:DSITechnology Co.LTD 横型:Koyo Thermo Systems Co., Ltd.) |
学内学外とも共用
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RIE-10NR
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サムコ (Samco Inc.) |
学内学外とも共用
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Multiplex-ASE-SRE-SE
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住友精密工業 (Sumitomo Precision Products CO.,LTD.) |
学内学外とも共用
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IM-4-1
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日立ハイテクフィールディング (Hitachi High-Tech Fielding Corporation) |
学内学外とも共用
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ADM-6DBV
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岡本工作機械製作所 (okamoto machine tool works,LTD) |
学内学外とも共用
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CABL-AP50S/RD
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クレステック |
学内学外とも共用
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RPD-PCS4/LC
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住友重機械工業 |
学内学外とも共用
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ELS-F125HS
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エリオニクス |
学内学外とも共用
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DWL200 LD3D
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Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH社 |
学内学外とも共用
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D-light DL-10000GS/KCH
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ナノシステムソリューションズ |
学内学外とも共用
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NSR-2205i11D
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ニコン |
学内学外とも共用
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EB1100 スパッタ装置
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キヤノンアネルバ |
学内学外とも共用
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EB1100 スパッタ装置(仕様B)
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キヤノンアネルバ |
学内学外とも共用
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