名称 | 機関 | メーカー | 共用範囲 |
---|---|---|---|
EB1100 スパッタ装置
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キヤノンアネルバ |
学内学外とも共用
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EB1100 スパッタ装置(仕様B)
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キヤノンアネルバ |
学内学外とも共用
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MPX-CVD
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住友精密工業 |
学内学外とも共用
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EIS-1200
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エリオニクス |
学内学外とも共用
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NLD-570
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アルバック |
学内学外とも共用
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SUSS SB8e SPEC-KU
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ズース・マイクロテック |
学内学外とも共用
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LAEX-1000
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AOV |
学内学外とも共用
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RIE-801iPB-KU
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サムコ |
学内学外とも共用
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MLT-SLE-Ox
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住友精密工業 |
学内学外とも共用
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Xetch X3B
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米国 XACTIX社 |
学内学外とも共用
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ML200
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東京精密 |
学内学外とも共用
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F7000S-KYT01
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アドバンテスト |
学内学外とも共用
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Zeta-388
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KLA |
学内学外とも共用
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Gemini-200E
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アルバック |
学内学外とも共用
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KLO-200SV1
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カナメックス |
学内学外とも共用
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AD-800LP-KN
|
サムコ |
学内学外とも共用
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EVG6200TBN
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EVG |
学内学外とも共用
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EVG510
|
EVG |
学内学外とも共用
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ナノシステムソリューションズ |
学内学外とも共用
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RIE-800iPB-KU
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サムコ |
学内学外とも共用
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SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU
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ズース・マイクロテック |
学内学外とも共用
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ST050
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SIJテクノロジ |
学内学外とも共用
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D-light DL-1000GS/KCH
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ナノシステムソリューションズ |
学内学外とも共用
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MPO 100
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ハイデルベルグ・インストルメンツ |
学内学外とも共用
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MLA 150
|
ハイデルベルグ・インストルメンツ |
学内学外とも共用
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