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名称 機関 メーカー 共用範囲
MPX-CVD
プラズマCVD装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
住友精密工業
学内学外とも共用
EIS-1200
電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
エリオニクス
学内学外とも共用
NLD-570
磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
アルバック
学内学外とも共用
SUSS SB8e SPEC-KU
基板接合装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
LAEX-1000
レーザアニーリング装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
AOV
学内学外とも共用
RIE-801iPB-KU
深堀りドライエッチング装置 (1)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
サムコ
学内学外とも共用
MLT-SLE-Ox
シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム (1)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
住友精密工業
学内学外とも共用
Xetch X3B
シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム (2)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
米国 XACTIX社
学内学外とも共用
ML200
レーザダイシング装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
東京精密
学内学外とも共用
F7000S-KYT01
大面積超高精度電子線描画装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
アドバンテスト
学内学外とも共用
Zeta-388
ウェハプロファイラ装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
KLA
学内学外とも共用
Gemini-200E
誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
アルバック
学内学外とも共用
KLO-200SV1
高圧ジェットリフトオフ装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
カナメックス
学内学外とも共用
AD-800LP-KN
原子層堆積装置(ALD) SAMCO製 AD-800LP-KN
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
サムコ
学内学外とも共用
EVG6200TBN
UVナノインプリント装置 EVG製 EVG6200TBN
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
EVG
学内学外とも共用
EVG510
熱インプリント装置 EVG製 EVG510
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
EVG
学内学外とも共用
マスクレス露光装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ナノシステムソリューションズ
学内学外とも共用
RIE-800iPB-KU
深堀りドライエッチング装置 (2)
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
サムコ
学内学外とも共用
SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU
手動露光・ボンドアライメント装置
京都大学
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
MA-10
紫外線露光装置 (Contact Mask Aligner)
京都大学
(株)ミカサ (MIKASA CORPORATION)
学内学外とも共用
DELTA80 T3/VP SPEC-KU
厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 (Advanced Spin Coater )
京都大学
ズース・マイクロテック(株) (SUSS MicroTec)
学内学外とも共用
KRC-150CBU
レジスト塗布装置 (Photoresist Spin Coater )
京都大学
(株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.)
学内学外とも共用
USC-2000ST
スプレーコータ (Photoresist Spray Coater)
京都大学
ウシオ電機(株) (Ushio Inc.)
学内学外とも共用
KD-150CBU
レジスト現像装置 (Photoresist Developer)
京都大学
(株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.)
学内学外とも共用
KSC-150CBU
ウエハスピン洗浄装置 (Wafer Spin Cleaner )
京都大学
(株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構 分子科学研究所 機器センター
電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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