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名称 機関 メーカー 共用範囲
4294他
インピーダンスアナライザ
広島大学
アジレント
学内学外とも共用
HL5500PC
ホール効果測定装置
広島大学
ACCENT
学内学外とも共用
DAD322
ダイサー
広島大学
ディスコ?(DISCO Corporation)
学内学外とも共用
PDMS加工装置
広島大学
魁・THINKEYほか?()
学内学外とも共用
ダヴィンチCOLOR
3Dプリンタ
広島大学
XYZ
学内学外とも共用
ELS-7500EX
電子線描画装置 (Electron beam lithography system)
香川大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
MX-1204
マスクレス露光装置 (Mask-less exposure system)
香川大学
大日本科研 (Jpn.Sci.Eng.)
学内学外とも共用
MS-B150
スピンコータ- (Spin-coater)
香川大学
ミカサ (MIKASA)
学内学外とも共用
10W-IBS
デュアルイオンビ-ムスパッタ装置 (Dual ion beam sputtering system)
香川大学
ハシノッテク (Hashino-tech)
学内学外とも共用
DAD3220
ダイシングマシン (Dicing system)
香川大学
DISCO (Disco)
学内学外とも共用
PM5
ウェハプローバ (Wafer prober)
香川大学
カール・ズース (SUSS MicroTec)
学内学外とも共用
AD-1200(無機用),AD-1200(有機用)
ウエハスピン現像装置
香川大学
滝沢産業
学内学外とも共用
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200
光干渉式膜厚測定装置
香川大学
シータメトリシス
学内学外とも共用
3700Plus, iBoind5000, 4000Plus, PM8-COAX-HR-PCKG, MCB03-4928T6
シリコン検出器製造装置
九州大学
先端素粒子物理研究センター
Orthodyne Electronics, Kulicke & Soffa Industries Inc., DAGE, Cascade Microtech, 日本エアーテック
学内学外とも共用
RIE-400
ICPエッチング装置
九州大学
先導物質化学研究所 物質機能評価センター
SAMCO
学内学外とも共用
PD-100
プラズマCVD装置
九州大学
先導物質化学研究所 物質機能評価センター
SAMCO
学内学外とも共用
Elionix ELS-100
電子線描画装置
九州大学
先導物質化学研究所 物質機能評価センター
エリオニクス
学内学外とも共用
プラズマCVD装置A(特注品,シラン系)
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
-
学内学外とも共用
プラズマCVD装置B(特注品,シラン系)
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
-
学内学外とも共用
水素原子源付プラズマCVD装置C(特注品,カーボン系)
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
-
学内学外とも共用
3元スパッタ装置A
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
-
学内学外とも共用
3元スパッタ装置B
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
-
学内学外とも共用
3元スパッタ装置C
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
-
学内学外とも共用
真空蒸着装置
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
-
学内学外とも共用
ACT-220D II
スピンコータ
九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクトロニクス部門
アクティブ
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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