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名称 機関 メーカー 共用範囲
Dimple Grinder(Model 656) PIPS II 他
TEM試料作製装置群 (TEM sample preparation apparatus)
物質・材料研究機構
Gatan 日本電子 BEUHLER Allied 日本レーザー電子真空デバイス マルトー
学内学外とも共用
Helios 650
FIB/SEM精密微細加工装置
物質・材料研究機構
日本エフイー・アイ株式会社
学内学外とも共用
DWL66+
レーザー描画装置 [DWL66+]
物質・材料研究機構
ハイデルベルグ・インストルメンツ (HEIDELBERG INSTRUMENT)
学内学外とも共用
DL-1000 / NC2P
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
物質・材料研究機構
ナノシステムソリューションズ (Nanosystem Solutions)
学内学外とも共用
AQ-500
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
物質・材料研究機構
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
UV-1
UVオゾンクリーナー [UV-1]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL (i-Miller)
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
物質・材料研究機構
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
学内学外とも共用
j-Sputter
スパッタ装置 [JSP-8000]
物質・材料研究機構
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
ADS-E86
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
物質・材料研究機構
アールデック (R-DEC)
学内学外とも共用
RDEB-1206K
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
物質・材料研究機構
アールデック (R-DEC)
学内学外とも共用
AD-230LP
原子層堆積装置 [AD-230LP]
物質・材料研究機構
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
PD-220NL
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
KLO-150CBU
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
物質・材料研究機構
カナメックス (KANAMEX)
学内学外とも共用
RIE-200NL
CCP-RIE装置 [RIE-200NL]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
RIE-101iPH
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
物質・材料研究機構
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
MUC-21 RV-APS-SE
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
物質・材料研究機構
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
物質・材料研究機構
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]
物質・材料研究機構
アドバンス理工株式会社 (ADVANCE RIKO)
学内学外とも共用
S-4800
FE-SEM [S-4800]
物質・材料研究機構
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
Jupiter XR
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
物質・材料研究機構
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
学内学外とも共用
LEXT OLS4000
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
物質・材料研究機構
オリンパス (OLYMPUS)
学内学外とも共用
F54-XY-200-UV
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
物質・材料研究機構
フィルメトリクス株式会社 (FILMETRICS)
学内学外とも共用
MARY-102FM
エリプソメーター [MARY-102FM]
物質・材料研究機構
ファイブラボ (five Lab)
学内学外とも共用
Dektak XT-A
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
物質・材料研究機構
ブルカージャパン (Bruker)
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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