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名称 機関 メーカー 共用範囲
H-3000
3MV超高圧電子顕微鏡 (3MV Ultra-High Voltage Electron Microscope)
大阪大学
日立製作所
学内学外とも共用
JEM-1000EES
1MV物質・生命科学超高圧電子顕微鏡?(1MV Materials- and Bio-Science UHVEM)
大阪大学
日本電子
学内学外とも共用
JEM-ARM200F
200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡?(200kV atomic-resolution analytical TEM/STEM)
大阪大学
日本電子
学内学外とも共用
Titan Krios
300kVクライオ電子顕微鏡?(300kV Cryo-EM)
大阪大学
サーモフィッシャーサイエンティフィック
学内学外とも共用
Scios2
複合ビーム3次元加工・観察装置?(FIB-SEM)
大阪大学
サーモフィッシャーサイエンティフィック
学内学外とも共用
UC7
高分子・生物系電子顕微鏡用試料作製装置群?(Bio-Science TEM Sample Preparation Machines)
大阪大学
ライカマイクロシステムズ
学内学外とも共用
PIPS II
材料系電子顕微鏡用試料作製装置群?(Material-Science TEM Sample Preparation Machines)
大阪大学
アメテック
学内学外とも共用
HF-2000
電界放出型200kV高分解能電子顕微鏡?(200kV high-resolution FEG-TEM)
大阪大学
日立ハイテク
学内学外とも共用
H-800
200kV回折コントラスト電子顕微鏡?(200kV diffraction-contrast TEM)
大阪大学
日立ハイテク
学内学外とも共用
JEM-1400Flash
120kVマルチマテリアル用電顕
大阪大学
日本電子
学内学外とも共用
ORION NanoFab
高精細集束イオンビーム装置?(High definition focused ion beam system)
大阪大学
カールツァイス
学内学外とも共用
Nvision 40D with NPVE
SEM付集束イオンビーム装置?(Focused ion beam system with SEM)
大阪大学
カールツァイス
学内学外とも共用
ELS-100T
超高精細電子ビームリソグラフィー装置?(Ultra high definition electron beam lithography system)
大阪大学
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS-BODEN-OU4801
自動搬送電子ビーム描画装置?(Automatic Transport Electron Beam Lithography System)
大阪大学
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS-S50LBC
高速大面積電子ビームリソグラフィー装置?(High speed and large area electron beam lithography system)
大阪大学
エリオニクス
学内学外とも共用
MA-10
マスクアライナー?(Mask aligner)
大阪大学
ミカサ
学内学外とも共用
Eitre 3
ナノインプリント装置?(Nanoimprint system)
大阪大学
オブデュキャット
学内学外とも共用
RIE-400iPB-NP
深掘りエッチング装置?(Deep etching system)
大阪大学
サムコ
学内学外とも共用
RIE-10NR-NP
リアクティブイオンエッチング装置?(Reactive ion etching system)
大阪大学
サムコ
学内学外とも共用
RIE-10NOU
リアクティブイオンエッチング装置?(Reactive ion etching system)
大阪大学
サムコ
学内学外とも共用
EB1100
多元DC/RFスパッタ装置?(Multi-target DC/RF sputtering system)
大阪大学
キャノンアネルバ
学内学外とも共用
SVC-700LRF
RFスパッタ成膜装置(金属成膜用)?(RF sputtering system (metal))
大阪大学
サンユー電子
学内学外とも共用
SVC-700LRF
RFスパッタ成膜装置(絶縁体成膜用)?(RF sputtering system (oxide))
大阪大学
サンユー電子
学内学外とも共用
MB02-5002
誘導結合型RFプラズマ支援スパッタ装置(ICP-RFスパッタ装置)?(RF-Sputtering System with Inductively Coupled Plasma )
大阪大学
アルバック
学内学外とも共用
UEP-2000 OT-H/C
EB蒸着装置?(EB deposition system)
大阪大学
アルバック
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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