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名称 機関 メーカー 共用範囲
MUM-0001
移動マスク紫外線露光装置 (Moving Mask UV Lithography)
京都大学
(株)大日本科研 (Japan Science Engineering Co., Ltd.)
学内学外とも共用
PEM-800
両面マスクアライナー露光装置 (Double-Sided Mask Aligner)
京都大学
ユニオン光学(株) (Union Optical Co., Ltd.)
学内学外とも共用
MA6 BSA SPEC-KU/3
両面マスクアライナー (Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner)
京都大学
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
D-light DL-1000GS/KCH
高速マスクレス露光装置
京都大学
ナノシステムソリューションズ
学内学外とも共用
ST050
超微細インクジェット描画装置
京都大学
SIJテクノロジ
学内学外とも共用
EB-1200
電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)
京都大学
キャノンアネルバ(株) (CANON ANELVA CORPORATION)
学内学外とも共用
MT-8X28-A
熱酸化炉 (Thermal Oxidation Furnace)
京都大学
光洋サーモシステム(株) (Koyo Thermo Systems Co., Ltd.)
学内学外とも共用
RIE-10NR-KF
ドライエッチング装置 (Capacitive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher)
京都大学
サムコ(株) (Samco Inc.)
学内学外とも共用
CrF-65
赤外フェムト秒レーザ加工装置 (Femtosecond Cr:Forsterite Laser System)
京都大学
AVESTA PROJECT社 (AVESTA PROJECT LTD.)
学内学外とも共用
DA D322
ダイシングソー (Automatic Dicing Saw)
京都大学
(株)ディスコ (DISCO Corporation)
学内学外とも共用
VTL-201
真空マウンター (Wafer Vacuum Mounter)
京都大学
日本電気(株) (NEC Corporation)
学内学外とも共用
LED-4082
紫外線照射装置 (UV Curing System)
京都大学
(株)テクノビジョン (Technovision, Inc.)
学内学外とも共用
TEX-21BG GR-5
エキスパンド装置 (Die Matrix Expander)
京都大学
(株)テクノビジョン (Technovision, Inc.)
学内学外とも共用
7476D
ウェッジワイヤボンダ (Ultrasonic Insulated Wire Bonder)
京都大学
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
学内学外とも共用
7700D
ボールワイヤボンダ (Ball Wire Bonder)
京都大学
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
学内学外とも共用
7200CR
ダイボンダ (Dual Head Epoxy Die Bonder)
京都大学
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
学内学外とも共用
IRise-T
赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 (Infrared MEMS Analyzer)
京都大学
(株)モリテックス (MORITEX Corporation)
学内学外とも共用
HPM-2N
高性能マッフル炉 (Muffle Furnace)
京都大学
アズワン(株) (AS ONE CORPORATION)
学内学外とも共用
UV-300HKU
UVオゾンクリーナー・キュア装置 (UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment)
京都大学
サムコ(株) (Samco Inc.)
学内学外とも共用
AQ-500KU
水蒸気プラズマクリーナー (Aqua Plasma Cleaner)
京都大学
サムコ(株) (Samco Inc.)
学内学外とも共用
RD-1400
真空蒸着装置(1) (Thermal Evaporator No.1)
京都大学
(株)サンバック (SANVAC CO., LTD.)
学内学外とも共用
RD-1400
真空蒸着装置(2) (Thermal Evaporator No.2)
京都大学
(株)サンバック (SANVAC CO., LTD.)
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 (Rapid Thermal Annealing System)
京都大学
アドバンス理工(株) (ADVANCE RIKO, Inc.)
学内学外とも共用
LABCOTER PDS-2010
パリレン成膜装置 (Parylene Coater)
京都大学
日本パリレン合同会社 (Specialty Coating Systems Inc.)
学内学外とも共用
NE-730
ICP-RIE装置 (Inductive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher)
京都大学
(株)アルバック (ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
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