名称 | 機関 | メーカー | 共用範囲 |
---|---|---|---|
DL-1000 / NC2P
|
ナノシステムソリューションズ (Nanosystem Solutions) |
学内学外とも共用
|
|
AQ-500
|
サムコ (Samco) |
学内学外とも共用
|
|
UV-1
|
サムコ (samco) |
学内学外とも共用
|
|
CFS-4EP-LL (i-Miller)
|
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS) |
学内学外とも共用
|
|
j-Sputter
|
アルバック (ULVAC) |
学内学外とも共用
|
|
ADS-E86
|
アールデック (R-DEC) |
学内学外とも共用
|
|
RDEB-1206K
|
アールデック (R-DEC) |
学内学外とも共用
|
|
AD-230LP
|
サムコ (Samco) |
学内学外とも共用
|
|
PD-220NL
|
サムコ (samco) |
学内学外とも共用
|
|
KLO-150CBU
|
カナメックス (KANAMEX) |
学内学外とも共用
|
|
RIE-200NL
|
サムコ (samco) |
学内学外とも共用
|
|
RIE-101iPH
|
サムコ (samco) |
学内学外とも共用
|
|
MUC-21 ASE-SRE
|
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
学内学外とも共用
|
|
MUC-21 RV-APS-SE
|
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
学内学外とも共用
|
|
PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
|
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments) |
学内学外とも共用
|
|
RTP-6
|
アドバンス理工株式会社 (ADVANCE RIKO) |
学内学外とも共用
|
|
DAD322
|
ディスコ (DISCO) |
学内学外とも共用
|
|
MX-200/B,B1500A
|
ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies) |
学内学外とも共用
|
|
7476D
|
ハイソル(West Bond) (HiSOL (West Bond)) |
学内学外とも共用
|
|
PD-220NL
|
サムコ (samco) |
学内学外とも共用
|
|
RTP-6
|
アドバンス理工 |
学内学外とも共用
|
|
ELS-BODEN100
|
エリオニクス |
学内学外とも共用
|
|
DL-1000
|
ナノシステムソリューションズ |
学内学外とも共用
|
|
MA-6
|
ズース・マイクロテック |
学内学外とも共用
|
|
AQ-500
|
サムコ |
学内学外とも共用
|