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名称 機関 メーカー 共用範囲
DL-1000 / NC2P
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
物質・材料研究機構
ナノシステムソリューションズ (Nanosystem Solutions)
学内学外とも共用
AQ-500
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
物質・材料研究機構
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
UV-1
UVオゾンクリーナー [UV-1]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL (i-Miller)
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
物質・材料研究機構
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
学内学外とも共用
j-Sputter
スパッタ装置 [JSP-8000]
物質・材料研究機構
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
ADS-E86
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
物質・材料研究機構
アールデック (R-DEC)
学内学外とも共用
RDEB-1206K
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
物質・材料研究機構
アールデック (R-DEC)
学内学外とも共用
AD-230LP
原子層堆積装置 [AD-230LP]
物質・材料研究機構
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
PD-220NL
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
KLO-150CBU
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
物質・材料研究機構
カナメックス (KANAMEX)
学内学外とも共用
RIE-200NL
CCP-RIE装置 [RIE-200NL]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
RIE-101iPH
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
物質・材料研究機構
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
MUC-21 RV-APS-SE
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
物質・材料研究機構
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
物質・材料研究機構
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]
物質・材料研究機構
アドバンス理工株式会社 (ADVANCE RIKO)
学内学外とも共用
DAD322
ダイシングソー [DAD322]
物質・材料研究機構
ディスコ (DISCO)
学内学外とも共用
MX-200/B,B1500A
室温プローバー [MX-200/B]
物質・材料研究機構
ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies)
学内学外とも共用
7476D
ワイヤーボンダー [7476D #2]
物質・材料研究機構
ハイソル(West Bond) (HiSOL (West Bond))
学内学外とも共用
PD-220NL
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
物質・材料研究機構
サムコ (samco)
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]?
物質・材料研究機構
アドバンス理工
学内学外とも共用
ELS-BODEN100
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
物質・材料研究機構
エリオニクス
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置 [DL-1000]
物質・材料研究機構
ナノシステムソリューションズ
学内学外とも共用
MA-6
マスクアライナー [MA-6]
物質・材料研究機構
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
AQ-500
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
物質・材料研究機構
サムコ
学内学外とも共用
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電話番号:0564-55-7457
MAIL : ic-pub_es@ims.ac.jp
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